半导体激光泵浦的高功率锁模激光器研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 M.S.D. Dissertation Submitted to Shanghai Jiao Tong University THE STUDY ON DIODE PUMPED HIGH-POWER MODE-LOCKED LASER Author: Ge Weiyang Advisor: Xie Guoqiang Specialty: Optical Engineering Lab of Laser and Plasma of Physics Department Shanghai Jiao Tong University January, 2015 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 半导体激光泵浦的高功率锁模激光器研究 摘 要 使用半导体激光二极管(LD)泵浦的全固态激光器，有着高效率、 高稳定性、结构紧凑以及光束质量好等优点，在科学研究、工业加工、 激光医疗以及军事探测打击方面都有着广泛的应用，在现今的激光发 展研究中是一个很重要的领域。尤其是高功率的超短脉冲锁模激光器， 在各个领域内都有很重要的应用，对各种不同激光晶体锁模特性的研 究成了激光研究中很重要的方面。 本论文中，我们利用 LD(阵列)进行泵浦，针对可得到近红外激光 的两种晶体，Nd:YVO4 晶体和 Yb:LuAG 晶体的激光输出性能进行了 研究。本文主要内容可以分为五个部分: ① 全固态激光器以及全固态锁模激光器的背景和发展现 状，包括第一章 ② 锁模技术的基本原理以及半导体饱和吸收镜 SESAM 的 原理，包括第二章 ③ 基于 Yb:LuAG 晶体的双波长锁模激光器，包括第三章 ④ LD 泵浦高功率 Nd:YVO4 锁模激光器的实验研究，包括 第四章 ⑤ 工作总结以及展望，包括第五章 在第一部分，我们从激光器的发明开始，介绍了 1960 年以来全固 态激光器的发展过程及现状。主要介绍了固体激光器的泵浦方式从灯 泵向半导体激光泵浦的转变，以及在研究超快锁模激光器的过程中各 种不同锁模技术的进步变化。 在第二部分，我们介绍了锁模的基本原理，并对常用锁模器件 SESAM 进行了简介。主要从公式上推导了锁模技术为何能够通过锁定 I 纵模相位来生成超短脉冲，并从 SESAM 的特性上分析了其如何在激 光腔内起到锁模的作用。 在第三部分，我们在实验室中实现了 Yb:LuAG 激光器的波长脉宽 可切换的锁模运转。使用掺杂浓度 10%，通光长度 3mm 的 Yb:LuAG 晶体，实现了波长以及脉宽可稳定切换的锁模激光输出。通过对狭缝 进行调节，激光器可以分别得到中心波长为 1031nm，脉冲宽度 1.15ps 的皮秒脉冲输出或中心波长 1046nm，脉冲宽度 252fs 的的飞秒脉冲输 出，最高输出功率达到 2.2W。不同的皮秒或飞秒脉冲可以作为可切换 泵浦源在泵浦 OPO 时产生重要作用。 在第四部分，我们基于热键合的 Nd:YVO4 激光晶体，在单谐振腔 中获得锁模脉冲输出，得到国内最高的 47.5W 平均功率输出。在该工 作中，我们采用中心波长 888nm 的泵浦源以及热键合 Nd:YVO4 晶体 降低晶体工作时的热负载。理论上，利用有限元软件 ANSYS 分析了 热键合 Nd:YVO4 晶体在高功率泵浦下的温度分布以及热透镜效应；实 验上，采用 100W 的光纤耦合 888nm 泵浦源，以及长度为（5+30+5） mm 的热键合 YVO4-Nd:YVO4-YVO4 晶体，在单谐振腔内获得了中心 波长 1064nm，最高平均功率 47.5W 的锁模脉冲输出。 在第五部分，我们对本文涉及的工作做了总结与展望。在论文中， 我们所研制的 Yb:LuAG 激光器具有高功率以及波长脉宽可切换等特 点，可以用作泵浦光学参量振荡器来得到宽带调谐的中红外脉冲； Nd:YVO4 振荡器有着国内最高的平均功率输出，由于其皮秒高功率的 特点，可以在工业上应用于硅片冷加工等，此外，在实验室中也可以 泵浦光学参量振荡器尝试得到 10W 量级的脉冲，这些应用也会是我们 将来的研究方向。 关键字:LD 泵浦，锁模激光器，近红外激光，高功率，热键合 I II万方数据 II 万方数据 THE STUDY ON DIODE PUMPED HIGH-POWER MODE-LOKED LASER ABSTRACT Diode pumped solid state lasers (DPSSL) have the advantanages of high efficiency, high stability, compact structure and good beam quality. DPSSLs have been widel