电泳法制备碳纳米管冷阴极及其场发射特性研究-物理电子学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘要 摘 要 平板显示器是电视，电脑，手机以及一些移动终端的一个非常重要的部件。 而当前平板显示器主要为 LCD 和 LED，但他们的性能跟 CRT 还有差距，而随着 真空微电子学的发展，FED（场发射平面显示器）的已经成功研制，并在性能上有 明显的优势，但工艺复杂，生产成本过高，还未大规模应用。1991 碳纳米管被发 现，因其具有良好的导电性，较大的长径比，高的机械强度，稳定的化学性质， 从而表现出良好的场发射性能，而热 CVD（化学气相沉积）法实现了碳纳米管的 大规模制备，使得碳纳米管成为 FED 阴极一个非常好的选择。因而本文一个主要 的研究内容就是： 通过电泳的方法来制备 FED 用碳纳米管薄膜冷阴极，并通过对工艺条件的对 比实验来优化电泳实验中电泳液配比，沉积基底，电泳电压，电泳时间等重要参 数，来实现电泳沉积的薄膜一个相对较好的场发射性能。在优化结果条件下沉积 多壁碳纳米管薄膜的阈值场为 3.4v/um，最大电流密度为 2mA/cm2，是能够满足 FED 对电流密度的要求的。 为了进一步提高沉积碳纳米管薄膜的场发射性能，我们对沉积的碳纳米管薄 膜进行了退火处理，电流处理，等离子体处理等后处理实验，并对处理前后的薄 膜做了场发射对比实验，结果表明三种方法都在一定程度上降低了开启场，阈值 场，提高了碳纳米管薄膜的场发射性能。 相对于直接生长法和丝网印刷法制备碳纳米管薄膜，电泳法的一个优点就是 可以很轻松地在曲面上实现电泳沉积。因此，我们可以通过电泳沉积碳纳米管在 柱面上，制备曲面型的碳纳米管冷阴极，将可以应用于曲面显示设备和荧光灯上。 当前磁控管启动慢，阴极热损耗较大的缺点，冷阴极磁控管将可以克服这两 个缺点，而磁控管阴极工作时电子是从其圆柱侧面发射的，如果制备圆柱面结构 的场发射阴极将有可能实现冷阴极的磁控管。而本文的一个研究点就是： 在圆柱面上电泳沉积碳纳米管薄膜，将能应用于曲面的显示设备和荧光灯上， 也有可能作为磁控管的冷阴极。而为了利用到磁控管阴极的二次电子，便对碳纳 米管电泳沉积在磁控管阴极进行了研究。 关键词：碳纳米管，场发射，电泳，冷阴极 I ABSTRACT ABSTRACT Flat panel display is a very important component in television, mobile phone and some mobile divices.in present, the main flat panel display is the LCD and LED, but their performance is still lagging behind with the CRT, and with the development of vacuum microelectronics, FED the monitor has been developed and performance has obvious advantages, but complex technology, high production costs lead to it did not large-scale application. Carbon nanotubes was found in 1991, because of its good electrical conductivity, large aspect ratio, high mechanical strength, chemical stability, make it have good field emission properties, and thermal CVD method to make carbon nanotubes can