叠层片式ptcr材料液相烧结及ni内电极改性的研究-集成电路工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本 人 声明 所呈 交的 学位 论 文是 我个 人在 导师 指导 下进 行 的研 究工 作及 取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含 任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献 的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律 结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有 权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和 借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据 库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华中科技大学 硕士学位论 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘 要 具有自发极化特性的钛酸钡（BaTiO3）陶瓷材料因其极高的介电常数，可用 于制备性能良好的无源电子器件。受电子系统向小型、集成和低电压的方向发展 的影响，这类陶瓷元器件也朝着叠层片式小型化的方向不断前进。本文就叠层片 式正温度系数电阻（Positive Temperature Coefficient Resistor，PTCR）制备过程 中的一些关键性工艺技术进行了研究。 在陶瓷的烧结过程中加入液相烧结助剂可有效地降低陶瓷的烧结温度，并对 陶瓷的微观结构、PTC 效应和室温电阻率均有较大的影响。BaTiO3 陶瓷常用的 液相烧结助剂有 SiO2 和 BN。相比 SiO2 而言，在 940℃即可形成大量液相的 BN 可更为显著地降低陶瓷的烧结温度，并可获得较高的 PTC 效应，但也导致了大 且不均匀的晶粒和较高的室温电阻率。液相烧结助剂的加入产生了许多经典氧空 位扩散的烧结理论无法解释的现象，本文就这些问题，引入粉末冶金领域的一些 经典理论，根据液相存在的情况下其对陶瓷材料晶粒尺寸、相对密度和电学性能 的影响，对 BaTiO3 陶瓷的烧结特性进行讨论，以指导 PTC 材料制备工艺的设置。 叠层片式的 PTCR 元器件由于在烧结前就已经印制了 Ni 内电极，并且 Ni 较易在空气中氧化，因此不能直接在空气中烧结，转而采用在含 3%H2 的 H2/N2 还原气氛下烧结并随后在较低的温度下再氧化的工艺方案。较高的再氧化温度可 提高 PTC 效应但 Ni 却容易被氧化而使室温电阻率升高。利用 BaTiO3 对 Ni 电极 颗粒表面进行包覆以提高其抗氧化性能和与陶瓷材料之间的匹配性在当前仍是 一个热门的研究课题。本文采用水热法制备出了具有较高抗氧化能力的 BaTiO3 包覆的 Ni 电极粉体。 关键词：液相烧结 烧结特性 电学性能 Ni 电极包覆 I Abstract Due to its high dielectric constant, BaTiO3 ceramics can be used to manufacture passive devices with good performance. Nowadays, miniaturization, integration and low operating voltage are the development directions of electronic systems. Therefore, these ceramic devices are also developing to laminate chip type. This work has studied on key preparation technologies of chip and laminate positive temperature coefficient resistor (PTCR). Liquid phase can effectively lower the sintering temperature of ceramics, and has enormous effects on the microstructure, PTC effect and room temperature resistivity of PTCR. SiO2 and BN are two common liquid sintering aid. Compare with SiO2, BN liquid phase forms at as low as 942℃. It can greatly lower t