支撑形变对高精度曲率半径测量的影响.PDFVIP

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５４ ０９１２０１２０１７ C２０１７ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 支撑形变对高精度曲率半径测量的影响 李振兴 , 苏州市职业大学机电工程学院 江苏 苏州 ２１５１０４ , . , 摘要 在进行高精度曲率半径测量时 三点支撑方式会引入测量误差 对该误差进行了理论分析及有限元仿真 　 . , . 并通过实验对仿真结果进行了验证 结果表明 支撑形变中的旋转对称误差项导致测量结果失准 在特定实验条 , , , . 件下 得到的补偿量小于 ７０nm 基于此对三点支撑下的曲率半径测量值进行补偿 可以提高测量精度 ; ; ; 关键词 测量 曲率半径 有限元仿真 三点支撑 　 中图分类号　O４３９　　　文献标识码　A : / doi１０．３７８８LOP５４．０９１２０１ InfluenceofSu ortDeformationonHihＧPrecision pp g CurvatureRadiusMeasurement LiZhenxing DeartmentoMechanoＧElectronicEnineerin SuzhouVocationalUniversit Suzhou Jiansu２１５１０４ China p f g g y g Abstract　WhenthehihＧrecisionmeasurementofthecurvatureradiusis erformed themeasurementerroris g p p introducedunderthreeＧointsu ort敭Thetheoreticalanalsisandthefiniteelementsimulationoftheerrorsare p pp y carriedoutandthesimulationresultsareverifiedb exeriments敭Theresultsshowthattherotationallsmmetric y p y y errorofsu ortdeformationleadstotheinaccurateradius敭Thecom ensationislessthan７０nmunderthesecific