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什么是DOE 二. DOE的原理和作用 三. DOE的种类和步骤 四. DOE案例 目录 * DOE是一种结构化和系统化的方法，能有效、快速地揭示多个过程变量(Xs)与输出或质量特性(Y)的因果关系，以确定影响过程响应的最重要的因子(Xs)，从而获得最佳响应(Y)。 机身宽度 机翼长度 机翼宽度 过程 质量特性 (飞行时间T) 因子(X) 响应 (Y) 噪声/不可控因子 一.什么是DOE 响应 (Y)=过程F（因子X） * DOE的原理 工程实践 统计原理 二. DOE的原理和作用 显著因子？ 实验次数？ 相互影响？ ….. * Buffer PVX Etch Buffer PVX Etch后 形成轻微表面小黑点 1st ITO刻蚀液浸泡 小黑点变大 PVX Etch后 小黑点逐渐变大 SD层 GI层 Buffer PVX Etch Power（W） Press（mT） SF6（sccm） O2（sccm） He2（sccm） Time（s） 改善前 6500 150 300 0 1000 50 改善后 3000 75 300 0 1000 45 PVX Etch 改善前 3000 150 300 450 400 86 改善后 2500 150 500 300 600 86 Step1:Buffer PVX Etch的Power由6500W→→3000W,改善不明显 Step2：PVX Etch的Power由3000W→→2500W，改善明显但工艺调整有限 Step3：DOE实验 案例—12“ 二. DOE的原理和作用 * DOE的作用 例：CELL 刻蚀 点类不良Issue!!! 二. DOE的原理和作用 * 筛选实验: 田口设计 PlackettBurman设计 6以上 部分因子实验 4~10 全因子实验 2~5 DOE 种类 因子数量 筛选重要因子 筛选重要因子 因子与Y的关系 目的 区分主效应 主效应和 部分交互作用 所有主效应和 交互作用， 建立数学模型 (线性效果） 作用 低 现在工序 了解程度 高 响应曲面实验 2~3 设定因子的 最佳条件 响应变量的 预测模型 (曲线效果） 要求 三.DOE的种类和步骤 * 策划响应变量“Y” 策划因子 “x” 选择合适的DOE方法 实施实验收集数据 分析结果改善实施 策划实验过程“F” 明确问题和目标 W what C choose D do A analysis -.陈述实际问题 -.期望的改善方向？ -.望大/小/目？ -.计量/计数型？ -.计量/计数型？ -.水平如何？ -.过程能力？ -.因子数量如何？ -.实验经费如何？ -.数据有无异常？ -.模型是否符合？ -.继续实验 or实施改善？ 实验设计阶段 分析改善阶段 P plan Y=F（x） 三.DOE种类和步骤 * 四.DOE案例 案例说明：直升机飞行实验 响应设定： Y：飞行时间(秒) 目标飞行时间最大化 因子及水平定义： FACTOR (-1)Level (1)Level Material Card Paper Wing Short Long Body short Long 1. 3因素2水平全因子实验 2. 重复一次，共16次实验 * 创建设计 Step.1 启动软件 Step.2 创建设计 四.DOE案例 * Step.2 设计方案 构建全因子实验矩阵 Step.1 因子数 Step.3 具体参数 四.DOE案例 * Step.2 数据类型水平 全因子水平选择 Step1.因子选择 四.DOE案例 * 数据填写 标准序 运行序 中心点 区组 Material Wing Body Timer1 Timer2 平均值 4 1 1 1 Paper Lng Wng Sht Bdy 2.63 2.53 2.58 13 2 1 1 Card Sht Wng Lng Bdy 1.56 1.62 1.59 3 3 1 1 Card Lng Wng Sht Bdy 1.87 1.72 1.795 6 4 1 1 Paper Sht Wng Lng Bdy 2.25 2.16 2.205 8 5 1 1 Paper Lng Wng Lng Bdy 2.78 2.62 2.7 10 6 1 1 Paper Sht Wng Sht Bdy 2.28 2.37 2.325 1 7 1 1 Card Sht Wng Sht Bdy 1.63 1.72 1.675 11 8 1 1 Card Lng Wng Sht Bdy 1.97 1.81 1.89 7 9 1 1 Card Lng Wng Lng Bdy 1.94 1.94 1.94 12 10 1 1 Paper Lng Wng Sht Bdy 2.9