压电陶瓷执行器控制技术与控制系统研究.docVIP

压电陶瓷执行器控制技术与控制系统研究 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc308723690 1 研究背景 PAGEREF _Toc308723690 \h 1 HYPERLINK \l _Toc308723691 2 压电陶瓷执行器控制技术的研究现状 PAGEREF _Toc308723691 \h 2 HYPERLINK \l _Toc308723692 3 压电陶瓷执行器的数字控制系统的研究趋势 PAGEREF _Toc308723692 \h 5 1 研究背景 随着时代的进一步发展，科技的进步与前沿技术的提升，使得人们的认识角度逐渐从宏观世界深入到微观世界，人类己经在认识和改造自然方面开创了一个前所未有的新局面。它给国防、先进制造技术、航空航天技术、信息技术、人民生活以及能源等方面带来了前所未有的变革。在众多的技术中，微定位技术起着关键的作用，它决定着各项技术的准确度与精度，是一切技术的根本与前提。它是当代制造技术的关键组成部分之一，用于精密微定位的实现。精密定位技术的发展程度关系到一切精密机械与精密仪器的各项性能。因此，精密微定位技术是众多精密技术的前提与基础，它的发展关系到精密工程等高精度产业的发展 ，也直接影响到纳米科学与技术的发展。 压电陶瓷执行器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微驱动器，随着科学技术的发展，它是近年来倍受关注的新型精密驱动器，压电陶瓷执行器具有体积小、功耗低、响应速度快、纳米级位移控制精度高以及输出力大等优点,因而被广泛应用于光纤调准、扫描隧道显微镜、精密金刚石车床、硬盘驱动定位、微机械加工及微定位平台等各种领域。压电陶瓷执行器的精确定位在现代社会中显得日益重要。 压电陶瓷执行器是一种新型的执行器件，叠堆型压电陶瓷执行器是通过多片压电陶瓷按一定的方式组合而成的压电陶瓷执行器件，可以提高压电陶瓷执行器的输出位移，其结构原理如图1.1(a)所示。由于叠堆型压电陶瓷执行器采用多片压电陶瓷片按一定方式叠加而成，其等效电容量也会相应的增加，使其呈现强容性的特点，如图1(b)是叠堆型压电陶瓷执行器的电学等效模型。根据图1.1(b)，通常将压电陶瓷执行器等效成一个电容量为CP的电容器和一个电压源的串连。 近年来，随着各种应用需求的增加，压电陶瓷执行器的动态应用越来越广，对压电陶瓷执行器的动态驱动控制要求也越来越苛刻，频带宽度、非线性失真、抗自激能力等动态性能要求很高。目前国内关于压电陶瓷器件的应用多限于静态特性，对动态扫描有很多困难亟待解决，压电陶瓷表现出多值映射的迟滞特性,这种非线性会严重影响系统性能,降低定位控制精度,给精确定位带来困难,其中迟滞特性是影响定位精度的主要因素。为了补偿压电陶瓷的迟滞非线性,提高定位控制系统的精度,对压电陶瓷的迟滞特性进行精确建模显得尤为重要。 (a) (b) 图1.1 叠堆型压电陶瓷执行器: (a)原理, (b)电学等效模型 2 压电陶瓷执行器控制技术的研究现状 压电陶瓷执行器正变得日益重要在今天的定位技术中。压电陶瓷执行器固有的迟滞非线性会影响系统的控制精度，甚至能导致系统不稳定。 现阶段对于迟滞模型的研究主要分为两个方向，一种是基于机理的物理模型，从基于物理原理出发描述物理特性；一种是基于现象的数学模型，从数学的角度描述物理现象。采用机理建模的方法，要求掌握材料微观结构信息并需求解复杂非线性和偏微分方程，很难获得满意的模型。采用基于现象的数学模型可以有效地描述材料的输入输出关系而不考虑其内部结构，实现过程比较直接。所以基于现象的数学模型是目前主要采用的迟滞模型建模方法。为了补偿降低压电陶瓷执行器的迟滞特性，研究过很多驱动建模方法： Preisach模型。Preisach模型是由最简单的滞回发生器叠加构造而成。简单滞回发生器如图2所示。Preisach模型的值域如图3所示。图中为限制三角形，和分别为驱动器的输入饱和电压和零电压，区域代表该区域的滞回发生器为，代表该区域的滞回发生器为1。 Preisach模型是通过对迟滞因子的双重积分来逼近迟滞特性，但是存在在线实现复杂，难于与控制器相结合的缺点。 (2)通过建立静态模型输出变化量与动态模型输出变化量间的映射函数关系，获得动态Preisach模型递推公式，模型原理如图4所示。模型中使用的迟滞算子仍是静态算子，存在迟滞算子无法描述输入变化率对输出变化量的动态量。 图2 简单滞回发生器 图3 Preisach模型的值域 图4 每两个连续输入极值电压变化率的平均值 (3)用电荷驱动代替经典电压驱动。电源电路如图5所示。但电荷控制法需要专用的控制电荷放大设备且在较宽的频率范围内，不能保证压电陶瓷的电