【精编】现代传感器技术-8-化学量传感器-2016.ppt

8 化学传感器 8.2.2 半导体式气体传感器 (1) SnO2气敏元件 SnO2元件有烧结型、厚膜型和薄膜型3种，其中以厚膜型和薄膜型最常见。 厚膜型SnO2元件是用丝网印刷技 术制备而成，其机械强度和一致 性都较好，且与厚膜混合集成电路工艺相容，将气敏元件与阻容元件制作在同一基片上，如上图所示。 薄膜型SnO2气敏元件(如下图所示)的工作温度较低（约 250 ℃），有很大的比表面积(表面积与 元件高度的比值)，自身的活性较高，气 敏性很好，催化剂“中毒”不十分明显。 123 * 8 化学传感器 8.2.2 半导体式气体传感器 (1) SnO2气敏元件 超微粒薄膜：SnO2微粒尺寸在100 nm以下的薄膜。 优点：超微粒薄膜有巨大的比表面积和很高的表面活性，在较低温度下能与吸附气体发生化学吸附，因而功耗小，灵敏度高。 超微粒薄膜型SnO2气敏元件结构如图所示。这种元件以硅为基片，与半导体集成电路的制作有较好的工艺相容性，可与配套电路制作在同一基片，便于应用，且选择性好，灵敏度高，响应恢复时间快。 123 * 8 化学传感器 8.2.2 半导体式气体传感器 (2) ZnO气敏元件 ZnO是N型半导体，其物理、化学性能稳定。ZnO元件的工作温度较高(400～450℃)，因此其发展不及SnO2元件快。ZnO气敏元件可分为烧结型、厚膜型和薄膜型3种。 一种ZnO薄膜酒精敏感元件的结构如下图。在A12O3基片上先做叉指型金电极，并在基片背面制作阻值约20Ω的耐高温薄膜电阻作为加热器。通常，在ZnO薄膜表面掺杂镧、错、钇、镝和钆等稀土元素的一种或数种，以提高灵敏度和选择性，可获得对酒精特别敏感，对甲烷、一氧化碳及汽油等较灵敏的酒精敏感元件。 123 * 8 化学传感器 8.2.2 半导体式气体传感器 (2) ZnO气敏元件 多层式ZnO气敏元件：先在绝缘基片上涂敷或淀积ZnO薄膜，再在ZnO层上涂敷一层贵金属作催化剂层，促进对气体的吸附，提高气敏性和选择性。 下图为铂铱复合型ZnO气敏元件结构图。以铂铱合金为基片，用印刷制膜法在正面制作RuO2电极A、B和ZnO层，在背面制作RuO2电极C，在乙醇气氛中测A与B间的电阻变化，同时还可用A或B与电极C测元件与温度的关系。 铂铱促进对氧和乙醇的吸附，RuO2促进乙醇的氧化作用，因而这种传感器对乙醇的灵敏度较高。 将SnO2掺杂到ZnO中，充分利用各自优 势，较好地改善气敏性能。研究表明， SnO2和ZnO形成的复合氧化物在灵敏度、 选择性及工作温度等方面有突出优势。 123 * 8 化学传感器 8.2.2 半导体式气体传感器 3) 非电阻式半导体气敏元件 种类：非电阻式半导体气敏元件有MOS二极管式、结型二极管式和场效应管式（MOSFET）等。 应用：其电流或电压随气体含量而变化，主要检测氢和硅烷气等可燃性气体。 工作原理：MOSFET气体传感器工作原理是挥发性有机化合物（VOC）与催化金属接触发生反应，反应产物扩散到MOSFET的栅极，改变了元件的性能。 通过分析元件性能的变化识别VOC；通过改变催化金属的种类和膜厚优化灵敏度和选择性，并可改变工作温度。 优缺点：MOSFET气体传感器灵敏度高，但制作工艺比较复杂，成本高。 123 * 8 化学传感器 8.2.3 电化学式气体传感器 原理：电化学式气体传感器利用电化学原理将感受的气体转换成可用输出信号。 分类：按电解质的不同可分为液体电解质和固体电解质，而液体电解质又分为电流型和电位型。 1）电流型液体电解质气体传感器 电流型气体传感器：以电化学电池中工作电极与对比电极之间响应电流为检测信号的气体传感器。它将气体与电解质溶液反应而产生的电解电流作为传感器输出。 (1) 原电池（伽伐尼电池）型气体传感器 被检测气体在原电池中能产生自发电化学反应的气体传感器称为“伽伐尼电池型”气体传感器。它通过检测电流来检测气体的体积分数。 123 * 8 化学传感器 8.2.3 电化学式气体传感器 1）电流型液体电解质气体传感器 (1) 原电池（伽伐尼电池）型气体传感器 氧气传感器广泛应用于航空、航天、工业、农业、养殖业、医疗卫生等需要监测或监控氧浓度的领域。 英国Alphasense公司的O2-A2型氧传感器属于隔膜(galvanic) 电池型氧气传感器。如图所示，其工作原理：氧透过隔膜后溶解在隔膜与阴极间的薄层电解液中，当氧达到阴极表面时被还原，外电路有负载时，电流与 氧体积分数成正比，测得电压或电流可 求得氧体积分数。 优点：不需要外电源，结构简单，不需 热源，工作电流小，是较理想的小型氧 气传感器。 123 * 8 化学传感器 8.2.3 电化学式气体传感器 1）电流型液体电解质气体传感器 (2) 可控电位电解式气