超高分辨光学相干层析成像技术与材料检测应用冰.PDF

物 理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．64，No．17(2015) 174201 超高分辨光学相干层析成像技术与材料检测应用冰 唐瞍 赵晨 陈志彦 李鹏 丁志华十 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027) (2015年2月2目收到；2015年3月24日收到修改稿) 本文报道了一种超高分辨率谱域光学相干层析成像 (SD—OCT)系统．该系统基于超连续谱激光光源并截 取部分光谱作为宽带光源，其中心波长为665nm，光谱半高全宽(FWHM)230nm．系统轴向分辨率0．9 m， 轴向扫描速率28600行／秒，横向分辨率3．9 m，横向视场1mm，最大成像深度0．6mm(空气中)．利用研制的 超高分辨率SD—OCT系统，对不同型号的工业砂纸精细结构进行了成像，并与普通SD—OCT的成像结果进行 对 比 充分展示 了研制系统在材料无损检测 中优势． 关键词：光学相干层析成像，超连续谱激光光源，超高分辨率，材料检测 PACS：42．15．Eq，42．25．Hz，42．30．Wb，42．40．My DOI：10．7498／aps．64．174201 病理组织微观结构的更多细节 [8--11】．例如，超高分 1 引 言 辨OCT可以对视网膜 内所有的主要膜层结构进行 成像，实现细胞细节的分辨，极大地推动了OCT技 光学相干层析技术 fopticalcoherenttomogra- 术在生物医学领域 中应用 [4]_相 比于生物医学领 phy，OCT1[1--3]是上世纪90年代发展起来的一种 域的应用，OCT技术在工业领域应用相对较少．近 非侵入、非接触的层析成像技术，具有高分辨率、无 些年 已经有一些小组报道OCT应用于光学元件检 损无辐射、实时检测等诸多优势．从0CT技术诞生 测、薄膜厚度测量、玻璃表面缺陷检测、焊锡球表面 起，提高系统分辨率一直是OCT领域的重要课题． 缺陷检测等 [12—161． 随着超快飞秒激光、锁模钛宝石激光、非线性光纤、 普通SD—OCT系统的轴 向分辨率一般在 10 合成光源等技术的飞速发展，OCT的分辨率也在 m左右，对于精细尺寸在微米量级的材料检测 不断提高，目前的轴 向分辨率已从10—15um提高 应用效果并不是理想，发展超高分辨率OCT技术 到1um 以内．2004年，NassifzJ~组用超发光二极管 是解决该问题的可行方法．在高分辨OCT研究方 (SLD)作为OCT系统的光源，实现了8．3 m的轴 面，基于时域OCT(TD—OCT1技术，已报道了亚微 向分辨率 [4]；同年，该小组将两个SLD光源拼接起 米的高分辨率成像 [17]；而基于热光源 的全场OCT 来，实现了4“m轴向分辨率[5】．2007年，Chen等利 也实现了亚微米的高分辨率 [18]．本文报道的是 用Ti：sapphire激光实现3 m轴向分辨率 6【]．2011 一 种基于超连续谱激光光源 的SD～OCT系统，与 年，Yadav等利用超连续谱光源将 OCT的轴 向分 TD—OCT和全场OCT相比，具有更快的成像速度， 辨率提高到1．52 m-7J．超高分辨OCT可 以看到 在材料精细结构的无损在线检测方面更具优势． 国家自然科学基金 (批准号6127519611404285，国家高技术研究发展计划(863计划)(批准号： 2015AA020515)，浙江省自然科学基金 (批准号：LY14F050007)，中央高校基本科研业务费专项资金 (批准号：2014QNA5017)和 教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题． 十通信作者．E—mail：zh