多孔锆钛酸压电陶瓷的制备与性能表征-机械设计及理论专业论文.docx

原 创 性 声 明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在指导教师的指导下，独 立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含 其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡 献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人 承担。 论文作者签名： 日期： 关于学位论文使用权的说明 本人完全了解中北大学有关保管、使用学位论文的规定，其中包括： ①学校有权保管、并向有关部门送交学位论文的原件与复印件；②学校可 以采用影印、缩印或其它复制手段复制并保存学位论文；③学校可允许学 位论文被查阅或借阅；④学校可以学术交流为目的，复制赠送和交换学位 论文；⑤学校可以公布学位论文的全部或部分内容（保密学位论文在解密 后遵守此规定）。 签 名： 日期： 导师签名： 日期： 中北大学学位论文 中北大学学位论文 I I 摘 要 锆钛酸铅（PZT）压电陶瓷具有优良的介电、压电性能和可靠性，是高灵敏度水声 传感器和医用超声换能器的首选材料。研究发现，烧结致密的 PZT 压电陶瓷静水压品质 因数 HFOM 较低、声阻抗较大，用于水声传感器领域时和医用超声换能器领域时，会 降低器件的灵敏度和医用超声换能器成像的分辨率。多孔 PZT 压电陶瓷通过在压电陶瓷 相中引入具有低密度、低介电性和无压电性的空气相，可以显著提高材料的 HFOM 值， 降低声阻抗，增加了材料的灵敏度和材料与媒介的声学匹配。论文主要结论如下： 通过直接发泡法与凝胶注模工艺相结合，制备具有高孔隙率、高静水压品质因数和 低声阻抗的 3-0 与 3-3 型的泡沫 PZT 压电陶瓷。通过优化工艺参数，使该工艺适用于制 备泡沫 PZT 压电陶瓷。经过研究，加入 0.5 wt%（相对于粉体重量）阿拉伯树胶分散剂 的浆料流变性能较好；采用机械搅拌的方式使陶瓷浆料发泡，通过短链的两亲分子戊酸 修饰 PZT 陶瓷颗粒，可以使浆料具有更高的发泡率；催化剂（MBAM）和引发剂（APS） 水溶液最佳含量分别为 0.5 vol%和 1.0 vol%（相对于溶剂）。 系统研究了浆料的固相体积分数、浆料 pH 值、戊酸浓度和烧结温度对直接发泡法 制备泡沫 PZT 压电陶瓷性能的影响规律。通过调控陶瓷浆料的发泡率和多孔 PZT 压电 陶瓷的孔隙率，泡沫 PZT 压电陶瓷的孔隙率在 27.8 %至 76.3 %之间，其变化范围远高 于传统的造孔剂燃烧工艺。并且，随着孔隙率的增大，泡沫 PZT 压电陶瓷的开孔气孔率 相应增高，由 3-0 型向 3-3 型压电陶瓷转变。多孔 PZT 压电陶瓷的 HFOM 最大值可至 19520×10-15 Pa-1，声阻抗最小值为 1.35 Mrayls，具有非常高的灵敏度和低的声阻抗，适 用于高灵敏度水声传感器和医用超声换能器。 利用海藻酸钠离子凝胶反应工艺制备具有定向通孔结构的 3-1 型蜂窝压电陶瓷。系 统深入研究了 Ca2+作为固化剂，在 1 mol/L 葡萄糖酸内酯溶液和 1 mol/L HCl 溶液中依 次各浸泡 24 h 的方式置换阳离子，得到湿坯后通过溶剂置换与空气中室温干燥相结合， 成功避免了坯体开裂，制备了孔径分布均匀，具有定向通孔结构的蜂窝陶瓷坯体。 研究了浆料的固含量、阳离子溶液浓度、海藻酸钠溶液浓度和烧结温度对海藻酸钠 离子凝胶反应工艺制备 3-1 型 PZT 压电陶瓷性能的影响规律。通过调节工艺参数，3-1 型 PZT 陶瓷的孔隙率在 16.4 %-64.8 %之间，孔径在 100-300 μm 之间，HFOM 值在 II II 448-7554×10-15 Pa-1 之间，具备较高的灵敏度。并且，鉴于 3-1 型 PZT 陶瓷蜂窝状的孔结 构，以及在制备工艺中引入了 CaO 掺杂物，其机械性能得到了大幅度提升。 利用 3-1 型 PZT 陶瓷压电相和非压电相周期性排列的特征，建立 3-1 型 PZT 陶瓷电 学计算模型，研究了孔径尺寸/壁厚对多孔 PZT 陶瓷电学性能的影响规律。研究发现： 3-1 型 PZT 陶瓷的相对介电常数 εr、纵向压电应变常数 d33 和横向压电应变常数 d31 都随 着孔径尺寸/孔壁厚度比的增大而减小；3-1 型 PZT 陶瓷的静水压压电电压常数 gh 随着 孔径尺寸/孔壁厚度比的增大而增大；3-1 型 PZT 陶瓷的静水压品质因数 HFOM 则随着 孔径尺寸/孔壁厚度比值的增大而呈现先增大后减小的趋势。因此，可以在较低孔隙率下 通过控制孔径尺寸/孔壁厚比值使多孔压电陶瓷达到较高的灵敏度，并且使材料具备较高 的相对介电常数，增强了器件的稳定性。 关键词：多孔陶瓷，锆钛酸铅，电学性能，机械性能，凝胶注模成型 PAGE PAGE IV Abstract Lea