超精密加工表面粗糙度测量方法对比及功率谱密度评价-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 - - I - 摘 要 随着科学仪器、微机电系统，光电信息技术的迅速发展，各工业部门对 零件表面质量的要求越来越高，如 X 射线反射镜和激光陀螺反射基片均要求 表面粗糙度在亚纳米级尺度。这对超精密表面测量技术和测量理论体系提出 了更高的要求。因此本文围绕超精密加工表面测量的相关问题开展了相应的 研究工作，具体研究内容包括如下几个方面： 综述了二维及三维表面形貌的传统评定方法，讨论了这些传统参数在应 用中的局限性，进而引入了功率谱密度评价方法，并对一维及二维功率谱密 度的定义及估计算法进行了详细地分析。鉴于传统估计算法的固有缺陷，提 出了三种提高功率谱密度估计质量的方法，并举以实例针对每种方法进行了 验证，结果表明三种方法均能不同程度地克服原算法的缺陷，提高了功率谱 密度估计精度。 总结了原子力显微镜、触针式轮廓仪及白光干涉仪的原理及性能参数， 分析了这些仪器的误差影响因素，并在此基础上，应用这些典型的仪器分别 对包括石英玻璃、单晶硅片及微晶玻璃在内的三种试样表面形貌进行了测 量，给出了这些表面的粗糙度值。而不同的测量仪器具有不同的频带宽度， 因此所测得的粗糙度值并不能直接地进行对比。通过计算这些表面的一维功 率谱密度，并在三种仪器共有的频段内计算每种仪器对应的功率谱密度曲线 下方的面积，即均方根值，实现了对不同仪器测得的粗糙度值进行直接地对 比。通过对比发现，原子力显微镜是用于测量高频表面结构的最佳仪器。通 过对测量结果的进一步分析发现，测量条件（如采样间距，扫描范围）的改 变直接影响着表面粗糙度，考虑到目前尚没有指导选择合理采样条件的标准 文件，因而本文提出了基于频谱分析的确定合理采样条件的方法，并通过测 量两种典型表面验证了这一方法，证明了此方法是合理的。 除此之外，本文还应用了原子力显微镜对在不同工艺条件下得到的超精 密加工表面进行了测量，并应用功率谱密度表征了各种表面。通过对功率谱 密度曲线的对比研究发现，功率谱密度是指导加工方法选择及工艺参数优化 的有力工具，它能够定量地描述表面轮廓在空间频段的分布情况，为系统地 分析超精密加工工艺对表面质量的影响提供了丰富的信息。 关键词：功率谱密度；测量仪器对比；表面粗糙度；采样条件 - - II - Abstract Along with the rapid development of scientific instruments，micro-electro- mechanical systems, and opto-electronics information technology, the surface quality of the parts have become increasingly demanding, such as x-ray laser, gyro mirrors, and reflective substrate, their surface roughness call in below 1nm scale. Therefore, this also imposes a higher demand on the surface of ultra-precision measurement technology and measurement of the theoretical system. In this paper, related research work around the measurement of ultra-precision machined surface was carried out. The main content of this thesis includes the following parts: A review of traditional methods of surface metrology for one-dimensional profiles and areas was carried out. Limitations and complications using these mathematical tools were discussed. Thus the Power Spectral Density (PSD) was introduced. The definition and calculation of one-dimensional PSD and two- dimensional PSD were analyzed in detail. Three ways to reduce the variance of