定位平台相关技术内容.PDF

定位平台相關技術內容 1.技術名稱：長行程奈米級平台 2.技術名稱：線性滑軌靜動態多功能測試機 3.技術名稱：六軸奈米測量機平台之研製 4.技術名稱：長行程奈米級精密平台 5.技術名稱：五自由度微動平台之建構 6.技術名稱：多軸奈米級微動平台之順滑同動循跡控制 7.技術名稱：三自由度平台設計、量測與循跡控制 8.技術名稱：奈米測量機Z-Tilts誤差補償平台之設計、量測與循跡控制 9.技術名稱：五軸奈米級微動平台之交叉耦合控制 10.技術名稱：以電容嵌入法應用於三自由度Z-tilts微動平台之控制 11.技術名稱：PI型模糊控制器於微奈米平台之循跡控制 12.技術名稱：軟硬體整合與人機介面設計 13.技術名稱：三自由度H型線性馬達定位平台之運動控制 光學量測相關技術內容 1.技術名稱：五軸光學量測校正系統 2.技術名稱：鏟花工件平面度檢測與鏟班深度掃描檢測 3.技術名稱：簡易式機具檢測系統開發 4.技術名稱：線性滑軌與滑塊之高度與 平面度與平行度量測系統 5.技術名稱：晶粒取放機構檢測光學量測系統開發 6.技術名稱：角度光學尺 7.技術名稱：螺紋非接觸式量測系統 8.技術名稱：使用雷射四象儀檢測精密機具性能 9.技術名稱：發展一種組合式五自由度之量測系 統於CNC工具機上 10.技術名稱：使用位置感測器之低成本精密機具量測系統開發 11.技術名稱：精密機具檢測系統之建立 12.技術名稱：微小角度量測及角定位量測系統之研製 13.技術名稱：介觀機具線性軸性能檢測系統之建立 14.技術名稱：切削中即時量測系統之開發與研製 15.技術名稱：長行程奈米級精密定位平台多自由度量測系統之設計與開發 16.技術名稱：新型繞射式五自由度雷射光學尺之開發 17.技術名稱：新型多自由度振動量測設備與方法 18.技術名稱：一種光學式高速旋轉軸誤差量測系統 19.技術名稱：多自由度量測系統 20.技術名稱：像散法於LCD玻璃基板厚度檢測之應用 21.技術名稱：次微米級光學直度尺應用於精密掃描平台即時直度誤差補償之研 究 22.技術名稱：旋轉軸熱傳分析與量測系統之建構 23.技術名稱：應用於大尺寸工件量測之 直度即時補償掃描平台 24.技術名稱：共焦三角位移探頭之研製 25.技術名稱：三自由度光學尺 26.技術名稱：二自由度對位量測系統開發 27.技術名稱：新型三自由度繞射雷射光學尺系統 28.技術名稱：微型刀具刀尖三維空間位置與刀徑光學量測系統開發 29.技術名稱：奈米級旋轉軸光學量測系統 30.技術名稱：可調式微凹面鏡及其在生物檢測系統之應用 31.技術名稱：雙光束雷射干涉儀檢測精密機具之研發 32.技術名稱：精密平台直度與角度即時量測光學系統之開發 33.技術名稱：應用像散法與斯涅爾定律量測透明基板厚度與折射率 34.技術名稱：三角雷射探頭結合二維影像量測系統之應用 35.技術名稱：超高精度角度量測系統