刻蚀溅射试题答案.docVIP

一级题H: 1： ATM在真空系统中表示_大气压 2: 一标准大气压=_760_Torr=_lE-5 Pa 3：负压检漏常用_洒精_做检漏液，正灰检漏常用_肥皂水_做检漏液 4： 3180溅射台离子规显示单位为_torr_，正常情况卜‘本底真空数值为彡 5E-6torr (范围值) 5： 3180溅射台热偶规最小测量数值为 1 mtorr 6:溅射台和刻蚀机都奋_离子规 ，_热偶规_和_电界真空计_3种真空测量仪 器 7：现在所用的清洗台加热缸冇_水浴加热 和_加热丝加热 两种加热方式 8 :刻蚀机所用油泵泵门真空最低可到_8E-3_torr,所用干泵泵口真空最低可到 一2E-2 torr 9：填写以下8300刻蚀机显示屮各处真空表示的含义以及待机吋正常显示范围 Forline ?前级 200mtorr Root P 腔粗抽 100mtorr Process 反/.、Vj$5mtorr Loadlock 装载腔5mtorr Rough L 胺粗抽 5mtorr 10： 318()溅射台最上方显示的是_电界真空计_测泉到的真空位，其显示范围为 ().1 mtorr ?1 torr 11：刻蚀机特气进入腔体前压力一般不超过_20psi 12: P5000 CVD腔体和溅射腔体真空方面最大的区别是_溅射需要高真空，CVD不需要 13:真空漏率常用单位为_mtorr/min ,8300刻蚀机后腔和前腔漏率要求为 _0.2mtorr/min 和 6mtorr/min— 14:溅射台和刻蚀机上用的高真空泵有_分子泵_和_冷泵 15:分子泵控制器上4个指示灯从下至上依次表示_正常加速错误电源 16:冷泵耑要再生的原因是_需去除活性炭中所吸附的气体，恢复吸附能力 17: MFC是_质量流撒计 常用规格单位*_SCCM 和_51^ 两种 18： 8300刻蚀机和8100刻蚀机特气气路密封方式为_VCR_^_VCO_,其区别是 _VCR用金属硬密封，VCO用橡胶密封圈密封 19: 8100正常辉光颜色为_白色_,8300正常辉光颜色为 黄绿色 20:3180溅射台上TC1表示_1^腔_的真空，TC3表示_前级_的真空 二级： 1:318()溅射台小腔体放气导致TC3真空变化原因是_隔离阀或者人盘双层密封陶处有漏气 2:3180溅射台大盘转动处采用_磁流体 进行动密封 3：真空脂应用在_不开启 部分的密封圈上 4： 8300真空腔体内润滑汕脂应具奋_不挥发 特性 5：清洗台氢氟酸槽温度异常主要原因有_热偶，控制器，水浴加热等 6:给3180腔体加热，真空成_先下降后再回上升 变化 7： A1000去胶机待机一段时闽后即无法打开其原W主要是_粗抽阀内漏_ 8: A1000去胶机漏率过大主要原因是_腔体前门 和_石英管底部 两处的密封圈需 更换 9：刻蚀机辉光颜色偏红主要原因是_科N2气进入腔体 10:P5000刻蚀机冷却he做片时漏率过大主要原因是_闘盘无法贴紧电极底座 11： 3180溅射台!li现大盘转动失败的主要原因有_机械卞?死电机问题 12:8300刻蚀机管道中固体沉积物在做淸理时用_D1水_浸泡去除 13： 3180溅射台小腔体门和举片架动作快慢通过调节_气缸气路上阀门 来调节 14：红色的密封阁含_硅_，特性是_耐萵温_ 15： A1000去胶机传片不到位主要调节_花篮升降台 ，_传片手臂 和_载片架 _的高度及位置 16:溅射台，刻蚀机长时间开腔后粗抽腔体应_反复抽充N2 操作 17：济洗台3号液槽温度异常原因主要有_热偶，控制器，加热丝等问题 18: 318()及8300冷泵正常工作温度为_10K 正常工作时318()表头指针在_蓝_色 区域 19：分子泵需耍purge氮气的原因是_防止有害气体损害泵体 20：更换有毒气体MFC时，抽空管道内有靑气体后，还应该_循环充抽N2 三级：软盘 1:3180溅射台安装盘化括_2_张 5英十软盘_ 2:P5000安装盘包括_5_张_3.5英寸_ 3:3180换靶时测景靶对地电阻;.、V:不小于_100K欧 4:8300 DI水水叽大小一般为_〉12M欧 5:8300整套传片手臂包括_3_个步进电机 6： 318（）换靶时需要更换的屏蔽件（不含螺丝）有_挡板，阳极罩，clip环全套等 7:8300淸理时需从腔体内卸下的部件冇_弥散管，底部辟蔽件，电极载片座等 8:冷泵抽真空的基本原理是_通过低温冷凝用活性炭吸附气体 9:靶短路导致高压枳最下方相位错误红灯亮，首先应检查商压枳的_保险 10：离子规进行除气的原因是_使测量更准确稳定 n:防止汕泵返汕一般在设备抽气管道屮加入_balast 装置来进行 12： 1000C分子泵转速为_36000转/min