微细电火花加工术与发展趋势势.docVIP

微细电火花加工技术与发展趋势 于同敏 黄晓超 (大连理工大学机械工程学院模具研究所 大连 116023) 摘要：本文简要的介绍了微型制件及微型模具的定义和分类，并着重介绍了应用于微型模具型腔加工的微细加工技术—微细电火花加工。总结了微细电火花的发展趋势和关键技术。 关键词：微注塑模具 微细电火花 关键技术 Technology of Micro Electrical Discharge Machining and Its Development Trend YU Tongmin HUANG Xiaochao (Institute of Die and Mould of School of Mechanical Engineering of Dalian University of Technology, Dalian 116023 ) Abstract: The division and definition of micro part and micro mould were introduced in this paper. Emphsis was given to illustrate the micro-machining technology of mould cave manufactureng — Micro electrical discharge machining(M-EDM) . A conclusion of the development trend and key technology of MEDM was made in this paper. Key words：Micro-injection mould Micro-EDM Key technology 0 前言 为了满足塑料制件在各种工业产品中的使用要求，塑料成型技术正朝着复杂化、精密化、微小化等方向发展，例如应用于微机电系统的微马达、微小齿轮以及应用于生物工程领域的细胞培养皿和微流控芯片等的成型。除了必须研发或引进微型和精密成型设备外，微小且精密的塑料成型模具更是需要采用先进的模具CAD/CAE/CAM技术来设计制造，并运用各种先进的加工手段。 微型模具的制造主要通过微细加工，目前的微细加工方法主要有：①微细切车削、铣削和磨削等；②微细特种加工如：电火花、电化学、激光、超声波、离了束和电了束等；③光刻、蚀刻和LIGA技术。其中微细电火花加工应用最为广泛，也是近年来研究的重点方向之一。 1 微型模具 1.1 微型模具的定义 应用微细加工方法制作微型模具，再通过微型模具成形微型制件，具有生产效率高、制件尺寸稳定性好的优点。因此，近年来关于微型模具制造技术的研究普遍受到人们的关注。但到日前为止，对于微型模具，也没有统一的定义，通常人们习惯于在尺寸和制造精度上来进行限定，即微型模具在尺寸和制造精度上可有如下儿个非约束性的特征(主要指微型模具的成形部分)：①成形的制件体积可达1mm左右；②微观尺寸从几微米到儿百微米；③模具表面粗糙度值在0.1m以下；④模具制造精度从lm到0. lm。但随着微机械及微细加工技术的发展，这些特征参数值在不断减小。 1.2 精密微型模具的分类 微型模具按照成形制件的不同可分为以下儿种类型: (1)微冲压类模具 多用于金属和塑料板材的成形，包括微冲切模具和微弯曲模具等。日本东京大学生产技术研究所进行的微冲压加工，已在50m厚的聚酞胺塑料板材上冲出了宽度为40m的非圆截面微孔。 (2)微锻造模具 微型锻造制件尺寸多在毫米量级以上，尺寸精度可以达到IT7～IT9级，包括热压印模具等。 (3)微压铸模具 用于微小金属零件的压铸成形，可成形锌、铝合金等微型压铸件。 (4)微注塑成形模具 用于高分了材料的注塑成形，是目前研究与应用最为广泛的一种微型模具。目前在德国以LIGA技术为基础制造的微注塑模具已可用来生产质量小于1mg或者局部结构化面积只有儿平方微米的极微小型注塑制品。 2 微细电火花加工技术 2.1 微细电火花加工原理 微细电火花加工同普通电火花加工的放电机理一样，在加工过程中，电极和工件不接触，利用电极和工件之间不断产生脉冲性火花放电，靠放电时局部、瞬时产生的高温把金属蚀除，从而形成所需的加工表面。电火花加工的加工原理如图2.1所示。 图2.1 电火花加工原理示意图 工件与电极分别与脉冲电源的两输出端相联接。自动进给调节装置使电极和工件间经常保持很小的放电间隙。当脉冲电压加到两极之间时，便在当时条件下相对某一间隙最小处或绝缘强度最低处击穿介质，在该局部产生火花放电，瞬时高温使电极和工件表面都蚀除掉小部分金属，各自形成一个小凹坑。脉冲放电结束后，经过一段间隔时间，使工作液恢复绝缘后，第二个脉冲电压又