多自由度压电式微位移机电系统的-研究.pdf

插图清单 图1—1X-Y一0三自由度微动工作台……………………………………4 图1—2MR～2型微机器人………………………………………………5 图1—3全文内容安排…………………………………………………7 图2—1静电式摇摆微电机……………………………………‘………8 图2—2硅膜片式压力传感器…………………………………………9 图2—3精密定位机构的结构…………………………………………11 图2—4音圈电机………………………………………………………12 图3—1三角单元分析…………………………………………………18 图3—2正交试验的选优区……………………………………………23 图4一l微位移系统结构原理…………………………………………27 图4—2双层压电合成晶片……………………………………………29 图4—3积层压电陶瓷结构……………………………………………29 图4—4柔性支承微工作台……………………………………………30 图4—5尺蠖机构………………………………………………………30 图4—6蠕动直线马达…………………………………………………3l 图4—7X-y-o=自由度微动台………………………………………31 图4—8东芝公司三自由度工作台……………………………………3l 图4—9提高轴向推力的蠕动结构……………………………………3l 图4—10多功能蠕动式移动机器人……………………………………32 图4—11压电式微位移系统结构………………………………………32 图4—1 2常见柔性铰链的类型…………………………………………34 图4一l 3单柔性平行四杆………………………………………………35 图4～14双柔性平行四杆………………………………………………35 5 图4～iY方向移动示意图(外工作台)………………………………36 图4～16 x方向移动示意图(内工作台)………………………………36 图4～1 7转动示意图(旋转工作台)……………………………………36 图4～1 8新型三自由度微位移工作台…………………………………37 图5～1柔性铰链的计算图……………………………………………40 图5～2由My引起的Ct Y………………………………………………41 图5～3 X………………………………………………42 由Fx引起的6 图5～4外工作台网格划分…………………………………………44 图5～5旋转工作台网格划分…………………………………………44 图5—6柔性铰链试验的因素…………………………………………44 图5—7外工作台应变6与各因素的关系图…………………………49 图5—8外工作台应力0与各因素的关系图…………………………49 图5—9旋转工作台应变6与各因素的关系图………………………50 图5—10 旋转工作台应力0与各因素的关系图………………………50 图6—1柔性铰链T、R、B示意图………………………………………52 图6—3三自由度微动台立体图………………………………………53 图6—2三自由度微动台的结构参数…………………………………54 图6—4工作台的有限元模型及其受力示意图………………………55 插表清单 表1一l MEMS在各个领域的应用………………………………………2 表l一2部分国家对MEMS投入的研究经费……………………………2 表2一l精密定位用的各种执行组件的控制功能……………………11 表4～l 四川永川26所的积层压电组件的技术参数………一……34 表5—165Mn材料的性能参数…………………………………………39 表5～2正交试验因素水平表…………………………………………45 表5～3正交试验安排表………………………………………………45 表5～4柔性铰链正交试验结果表(外工作台)………………………46 表5—5柔性铰链正交试验结果表(旋转工作台)……………………47 表5—6各因素影响指标的顺序………………………………………48 表5—7平移工作台应变6的两种模型结果…………………………51 表6—1柔性铰链基本参数T、R和B…………………………………53 表6—2外工作台的计算结果…………………………………