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单电压控制电润湿显示阵列制备与研究 　　摘 要：文章介绍了利用匀胶机甩Teflon薄膜作为疏水亲油介质的方法制备电润湿显示的工艺，在此基础上，通过引入光刻工艺，选用SU-8负胶作为光刻胶，获得了具有良好的油滴浸润性的电润湿显示阵列。实验中获得的显示阵列具有良好的油滴浸润性，油滴在各个显示单元上覆盖全面，小电压时就开始收缩，电压加到30V时，油滴基本上收缩到角落，并且有良好的重复性，有望应用于下一代的显示器件。 　　关键词： 电润湿；光刻；聚四氟乙烯 　　中图分类号：TN949.199 文献标识码：B 　　 　　The Preparation and Study of Electrowetting Display Array Controlled by Single Voltage 　　 　　LIN Yan-qiang1, WANG Ning1, LIU Shu-ting1, XU Li-guo2, XU Qing-yu1, XIAO Chang-shi3 　　(1. Department of Physics, Southeast University, Nanjing Jiangsu 211189, China; 2. School of Materials Science and Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing Jiangsu 210016, China; 3. Jing Aowei Optoelectronic Technology Co., Ltd., Nanjing Jiangsu 211189, China) 　　 　　Abstract: In this paper, we described the process of fabricating the electrowetting display, using teflon films thrown by a spin coater as the lipophilic hydrophobic medium. On this basis, by employing SU-8 photoresist as the lithophotography cofferdam, we got the electrowetting display array with good oil invasion. The oil droplets achieved complete coverage in every display units, began to shrink at small voltage, and when the voltage was 30V, shrank virtually into corners. These properties of the process, plus a good repeatability, make its application in the next generation of display devices promising. 　　Keywords: electrowetting; lithophotography; teflon 　　 　　引 言 　　 　　 伴随着科技的高速发展，绿色与环保已经成为科技发展中迫切需要关注的元素。低碳节能不是口号，而是一种潮流。电润湿显示作为一种新兴事物，与传统显示不同，它采用了自然光显示，拥有功耗低、可视角大和响应时间短等多种优点[1]，是显示技术发展方向上一颗耀眼的新星，具有良好的市场前景，并且符合低碳节能的要求。 　　 国际上，最早成功研制出电润湿显示器的是飞利浦旗下的专业显示器厂商Liquavista公司，其研究成果发表在2003年第8期的Nature杂志上，该项技术的专利被飞利浦获得。2011年1月20日，三星公司收购了Liquavista公司。在国内，目前对电润湿显示的研究成果基本上还停留于手工制备毫米尺度的单个电润湿显示单元上，不过已经有不少团队开始了电润湿显示技术应用方面的探索，比如在南京已经成立了南京晶奥微光电技术有限公司专门从事基于电润湿显示技术和器件的研制。相信不久的将来，国内也能够自主研制出电润湿显示器。 　　 经过长期的探索，我们小组已经逐渐从电润湿显示单元的研究过渡到了显示阵列的研究，显示阵列制备的第一个难题就是如何在Teflon薄膜的表面上进行光刻。目前，我们小组已经能够在不破坏各单元格电润湿效果的基础上，成功地使用SU-8光刻胶[2]在基片上进行光刻，初步获得一个显示阵列。 　　 　　1 原 理