典型微纳结构的气敏检测与结构制备研究-机械电子工程专业论文.docx

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个 人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体， 均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有 权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和 借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据 库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□，在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 当前环境污染日趋严重，有机气体检测成为气体检测领域不可或缺的一部分。与 此同时，随着微电子技术和微纳制造工艺及其理论的不断完善，气体传感器逐渐向一 体化、智能化、图像化及微型化、低能耗和高灵敏度高选择性的方向发展，气敏传感 器也逐渐以具有气敏特性的微纳结构气敏元件为核心部件。本学位论文针对有机气 体，通过理论、实验和仿真相结合，研究蝶翅微纳结构的光学气敏特性和 ZnO 纳米线 结构的电学气敏特性，主要研究工作包括： 针对 Morpho 蝶翅鳞片微纳结构，搭建了光学实验平台，检测蝶翅样本在甲醇、乙 醇饱和蒸汽和氮气中的光学反射谱，结合主成分分析方法，对光谱数据进行降维处 理，实现了三种气体的检测和识别；研究了蝶翅结构气敏机理，提出蝶翅结构在有机 气体中会在表面形成一层纳米液膜，导致结构的光学特性发生变化；采用 Rsoft 软件 DiffractMOD 模块对该蝶翅结构进行建模和仿真，研究了蒸气浓度变化对结构反射谱的 影响。进一步，以蝶翅生物样本为模板，结合磁控溅射薄膜制备技术与烧结成型方 法，制备出与原蝶翅结构和光学特性相似的蝶翅遗态结构。 研究了 ZnO 半导体对还原性气体的气敏机理，结合 ZnO 纳米线生长和微纳结构制 备工艺，制备出叉指型和对尖型两种气敏微纳结构，并进行了 Au 颗粒修饰，探索了修 饰前后结构气敏特性的变化。研究了 350℃最佳测试温度下 500ppm 到 10ppm 不同浓度 乙醇气体的电流-时间变化曲线，发现 Au 颗粒修饰对响应时间有所改善的，同时得到 有无 Au 颗粒修饰的叉指型和对尖型气敏元件的浓度-灵敏度曲线，Au 颗粒修饰强化了 元件对乙醇气体的灵敏度，而叉指型气敏元件气敏特性优于对尖型气敏元件。 上述研究工作对于进一步深入研究有机气体检测技术具有良好的指导作用。 关键词： 微纳结构，气敏检测，Morpho 蝶翅，Rsoft 软件，ZnO 纳米线 II II Abstract Within the current increasingly serious environmental pollution, organic vapors detection becomes an important part of gas detection field. At the same time, as the continuous improvement of the microelectronics technology and the micro/nano manufacturing technology with their theories, gas sensors trend to integrative, intellectualized, visual and miniaturized with low energy consumption and high sensitivity. So the core component of gas sensors is also gradually to be fabricated by the micro/nano structures with gas-sensing properties. In this dissertation, we study the optical properties of butterfly hierarchy micro/nano structures and the electrical properties of ZnO nanowires structures for organic vapors, combined with the g