低温等离子体技术应用研究-电磁场与微波技术专业论文.docx

万方数据 万方数据 Nanjing University of Aeronautics and Astronautics The Graduate School College of Electronic and Information Engineering Research on Application of low temperature plasma technology A Thesis in Electromagnetic Field and Microwave Technology by Zhao Huichao Advised by Prof. Liu Shaobin Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Engineering December, 2013 万方数据 万方数据 承诺书 本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进 行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致 谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成 果，也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位 或证书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后适用本承诺书） 作者签名： 日 期： 南京航 南京航空航天大学硕士学位论文 低温等 低温等离子体技术应用研究 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘 要 本文针对低温等离子体技术在隐身天线和杀菌消毒方面的应用，设计了一款等离子体八木 天线并研制出两款低温等离子体杀菌消毒仪。主要内容包括： 在等离子体天线和八木天线理论分析的基础上，参照金属八木天线结构，设计了一款等离 子体八木天线。使用 CST 三维电磁场仿真软件建立天线模型，对其结构参数进行优化仿真，得 到 S11 参数、辐射方向图和天线振子单元周围的电磁场分布。最后加工制作出等离子体八木天 线的原理样机，用高性能矢量网络分析仪对原理样机的 S11 参数进行测量，得到与仿真相一致 的结果。理论分析、仿真优化和实践验证三种方式相结合的研究结果表明，当等离子体密度足 够大时，等离子体八木天线具有很好地定向性以及较高的增益，具有与金属天线可比拟的性能。 基于介质阻挡放电理论，对低温等离子体产生模型进行分析并结合实验测量验证，研制出 网罩阴极式低温等离子体产生设备，并研制出能给设备供电的小功率脉冲电源；根据实验过程 中偶然发现高压绝缘导线对人体安全放电现象得到的启示，研制出基于介质阻挡放电悬浮电极 式低温等离子体产生设备。通过两款低温等离子体产生设备对大肠杆菌和手上细菌进行的灭活 实验发现，对大肠杆菌照射 10 秒以上，可使照射区大肠杆菌死亡率达到 100%；对手上多种细 菌照射 20 秒，能使其全部死亡。实验结果表明所研制的低温等离子体产生设备有很好的杀菌消 毒效果，因此所研制的设备命名为“低温等离子体杀菌消毒仪”。 关键词：低温等离子体，等离子体八木天线，介质阻挡放电，杀菌消毒 I ABSTRACT In this paper, for the applications of low-temperature plasma technology in stealth antennas and sterilization areas, a plasma Yagi antenna has been designed and two low-temperature plasma sterilization instruments have been developed. The main contents include: on the basis of the plasma antenna and Yagi antenna theory analysis, referring to the metal Yagi antenna structure, a plasma Yagi antenna was designed.We established a three-dimensional antenna model in CST electromagnetic simulation software, optimized and simulated its structure parameters, finally got its S11 parameters, radiation pattern, the electromagnetic field dis