高场不对称波形离子迁移谱技术研究-检测技术与自动化装置专业论文.docxVIP

摘要及五种最为常见的挥发酚进行了FAIMS检测实验，获得了样品的迁移谱图，针 摘要 及五种最为常见的挥发酚进行了FAIMS检测实验，获得了样品的迁移谱图，针 对特定射频电压幅值条件下两种物质的补偿电压有可能相近的问题，提出以射频 电压和补偿电压为参量的二维谱图数据库方法，提高了仪器检测的准确性。 本文以FAIMS的检测关键性能指标与影响因素的关系模型和笑键测控参数 的优化为研究重点，主要的创新点体现在以下几个方面： 1．首次研究了致偏电压对FAIMS灵敏度、补偿电场波形对灵敏度和分辨率 的影响，建立了灵敏度、分辨率与致偏电压、补偿电压波形等参数之间关系的理 论模型，为致偏电压等测控参数的优化提供了理论基础。 2．针对迁移管中迁移区与检测区存在较强电场干扰以致FAIMS检测限无法 进一步降低的问题，提出了带有辅助屏蔽电极和主屏蔽电极的迁移管结构，仿真 结果显示，施加屏蔽电极后迁移区对检测区的电场干扰强度降低为未施加时的 0．32‰，满足了FAIMS的低检测限应用需求。 3．针对高温工作时作为迁移管基片的硼硅玻璃材料存在漏电流不利于仪器 的快速检测的问题，首次提出了基于厚膜技术的迁移管芯片制作方法。实验结果 显示，厚膜工艺制作的迁移管在高温’F的漏电流儿乎可以忽略不计，使得FAIMS 高温条件的实时陕速检测成为可能。 4．针对特定射频电场条件下两种物质补偿电艟接近时不利于两者分离的问 题，基于补偿电压为射频电压幅值的非线性函数的性质，提出了以补偿电压和射 频电压幅值作为二维参量的二维高场不对称波形离子迁移谱数据库的方法，提高 了样品检测的准确性。 关键词：高场不对称波形离子迁移谱二维谱图屏蔽电极MEMS厚膜工艺 离子迁移管 垒坠塑!!ABSTRACT 垒坠塑!! ABSTRACT High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry(FAIMS)is a broad spectrum analysis technology which has the advantages of high speed，high sensitivity， easy miniaturization，etc．FAIMS technology has broad application prospect in many fields such as environmental monitoring，drugs and explosives detection etc．Ion mobility has different variation in high strength electric fields for the difference between their natural parameters，and the non-linear dependence ofmobility values on high strength electric fields be used for ions identification．Ions can be separated and only one specific type of ions pass through the filter region in the suitable electric fields． Ion movement in the electric field is affected by many factors which results in the high complexities of the movement．Recently，the research of the dependence of ion movement on ion diffusion and carrier gas velocity distribution in high strength electric field has achieved preliminary results．However,there is little work on the effect of compensating voltage waveform and deflecting voltage intensity which affect the sensitivity and resolving power of FAIMS．In FAIMS tube，the distance between filter region and detection region is small and RF electric field with high frequ