原创力文档第卷第期光学精密工程年月文章编号凹面光栅衍射效率测试仪精度分析和优化寇婕婷吴娜巴音贺希格唐玉国齐向东于宏柱中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学院研究生院北京摘要分析和优化了凹面光栅衍射效率自动测试仪的测量精度以提高凹面光栅相对衍射效率测量结果的准确性根据凹面光栅相对衍射效率测量原理对凹面光栅出射光谱增宽衍射光束截面变化光源辐射亮度的控制和测量波长同步精度等影响测量准确性的因素进行分析给出了必要的运算关系式采用回归分析等数学方法基于大量实验数据建立了测量结果的优化公式并将该公式编
第 卷 第 期 光学精密工程
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