光纤光学相干膜盒压力传感器设计.PDFVIP

浙江理工大学学报 自然科学版 第 卷 第 期 年 月 文章编号 光纤光学相干膜盒压力传感器设计 赵文建 袁海骏 袁嫣红 浙江理工大学机械与自动控制学院杭州 上海舜宇海逸光电技术有限公司上海 摘 要 设计了一种新型光纤膜盒压力传感器 应用频率扫描光纤相干测距法感知波纹膜片位移量 从而得到 压力测量值设计的压力传感器应用单模光纤空间滤波特性进行测距实现了对非光滑金属膜片表面的直接测距 压力膜盒通过退火工艺消除焊接产生的残余应力改善了迟滞特性实验结果表明设计的压力传感器不仅比指针 式膜盒压力表拥有更高的精度和灵敏度同时又拥有光纤传感器远距离测量和抗电磁干扰的特点对其中一种尺 寸的压力传感器进行了标定给出了压力与距离的特性曲线以及零点温度漂移曲线其迟滞仅为非线性度为 关键词 光纤相干测距 单模光纤 波纹膜片 迟滞 压力传感器 中图分类号 文献标志码 往要求被测物表面为光滑镜面 且对光路的对准要 引 言 求极高 对于具有因形变而造成光路偏移的非光学 膜盒因具有压力位移的特性而被广泛用于各 表面的膜片并不适合直接测量本文设计了专用 类压力仪表制造 传统的膜盒压力表借助一定的机 的集成光纤探头 应用光纤相干测距法实现了对膜 构将膜片受压产生的微小形变位移量放大 并通过 片的直接测量 制成了新型的光纤相干膜盒压力传 指针在刻度盘上进行指示 其缺点是精度低且需要 感器 通过去应力退火处理改善了膜盒的迟滞特性 使其可实现高精度的压力测量 该压力传感器不仅 人工读取压力值光纤传感器因具有抗电磁干扰 耐腐蚀 体积小 远程测量等特点而受到了广泛的关 结构简单制作方便分辨率高可数字显示同时具