静电斥力rf mem字s开关的设计与优化.docx

声 声 明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在指导教师的指导下， 独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文 不包含其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究 做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的 法律责任由本人承担。 论文作者签名：塑噬暨 日期： 鲨!三!j!， 关于学位论文使用权的说明 本人完全了解太原理工大学有关保管、使用学位论文的规定，其 中包括：①学校有权保管、并向有关部门送交学位论文的原件与复印 件；②学校可以采用影印、缩印或其它复制手段复制并保存学位论文； ③学校可允许学位论文被查阅或借阅；④学校可以学术交流为目的， 复制赠送和交换学位论文；⑤学校可以公布学位论文的全部或部分内 容(保密学位论文在解密后遵守此规定)。 签 名：叠墨翌 日期： 俩^少 导师签名： 日期：丛!』!鱼篁 万方数据 JIII JIII IIIIIIIIIII IIIIII III IIIIIIlUJ 太原理工大学硕士研究生学位论文 Y2798595 静电斥力I江MEMS开关的设计与优化 摘要 射频微机电(RF删s)开关以其体积小、重量轻、响应速度快、易 与IC电路集成等优点，成为RF删S领域中被广泛研究的一类器件。RF ⅧMS开关广泛应用在卫星通讯、雷达、汽车电子等领域。在RF MF,MS 开关中，研究最多的是静电驱动电容式RF MF_。MS开关。但其商业化一直 没有实现，其中一个主要的原因就是由于RF MEMS开关中电荷积累(即 介质充电)问题导致开关出现可靠性问题。针对如何解决电荷积累问题， 国内外研究专家也提出了很多解决方法，但只是在一定程度上降低了电荷 积累的速度，而且这些方法在降低电荷积累速度的同时，带来了其它的一 些问题，例如开关时间增长、体积偏大、加工工艺复杂等。 在静电驱动电容式RF删S开关中，由于在施加驱动电压后，互相 接触的两极板之间有强电场的存在，导致漏电流中的电荷被介质层中陷阱 俘获并积累。因此，介质层中强电场是引起电荷积累的主要因素。针对如 何消除RFⅧMs开关介质层中的强电场，本文提出了利用静电斥力原理 驱动RF MEMS开关，消除介质层中的强电场，减少电荷积累。具体完成 了以下几方面的研究工作： (1)从静电引力驱动电容式RF I＼vmMS开关失效机理入手，分析其失 效原因；对比总结已有的各种解决方法的优缺点；简要说明了IⅫMEMS 开关的国内外研究现状。 万方数据 太原理工大学硕士研究生学位论文(2)提出利用静电斥力原理进行驱动的想法，讲解了静电斥力原理的 太原理工大学硕士研究生学位论文 (2)提出利用静电斥力原理进行驱动的想法，讲解了静电斥力原理的 基本概念及其工作原理；分析了静电斥力的可靠性问题；简单介绍了有限 元仿真软件COMSOL Multiphysics相关知识，并通过仿真验证了此驱动结 构的可行性。 (3)将驱动结构参数分为固定极板、可动极板和其他参数三类，并利 用仿真软件逐一分析了这些参数与驱动结构最大形变量之间的关系。结果 表明：驱动结构最大形变量与可动极板长度和垂直间距呈线性关系，与可 动极板宽度和厚度成指数下降关系；最值得一提的是，当水平间距为3肛m 时，可动极板的形变量达到最大值。此外，固定极板宽度和厚度对最大形 变量的影响不是很大。 (4)从改变驱动结构弹性系数、斥力驱动单元数目及固定极板数目三 方面入手，设计了不同的驱动结构；研究了不同的驱动结构对最大形变量 的影响关系；设计了本文的静电斥力RF MEMS开关的加工工艺流程及相 应的加工图。 关键词：电容式RF MEMS开关，静电驱动，介质充电，COMSOL Multiphysics 万方数据 太原理工大学硕士研寇生学位论文DESIGN 太原理工大学硕士研寇生学位论文 DESIGN AND oPTIMIZATIoN oF THE ELECTRoSTAl’IC REPULSIVE．FoRCE BASED RF MEMS SWITCHES ABSTRACT RF MEMS switch has been widely used in the RF MEMS field due to its advantages，such as little size，low power consumption，fast response time and easily integrated with the IC circuit．RF MEMS switch has a big application field including satellite communications，radar systems and electronics．The electrostatic cap