基于激光成像的面形误差检测方法.PDFVIP

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５３ ０９１２０２２０１６ C２０１６ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 基于激光成像的面形误差检测方法 李 艳 李 浩 高 峰 朱延炎 　 　 　 　 　 　 , 西安理工大学教育部数控机床及机械制造装备集成重点实验室 陕西 西安 ７１００４８ , 、 、 摘要 针对在制造装配过程中 由于太阳能聚光反射镜的子镜结构尺寸过大导致面形检测效率低 精度差 检测难 　 , . 度高等问题 提出了一种基于激光成像的镜面面形误差检测方法 该方法利用图像处理技术对激光点阵的成像进 , , 行分析 通过分辨不同的激光束反射成像阵列点在像平面坐标系中的位置 反推出所对应的入射光阵列发生镜面 , , 反射时在反射镜坐标系中的坐标值 将上述入射点阵列坐标值代入标准抛物面方程进行拟合 采用最速下降迭代 . , 法计算获得整个反射面的面形误差值 通过与三坐标测量机对反射面的测量结果进行比较 表明该方法的测量精 度可达到 ０．８mrad. ; ; ; ; 关键词 测量 面形检测 图像处理 激光成像 抛物碟式聚光器 　 中图分类号　O４３５．１　　　文献标识码　A : / doi１０．３７８８LOP５３．０９１２０２ DetectionMethodofSurfaceErrorBasedonLaserImain g g LiYan　LiHao　GaoFen　ZhuYanan g y Ke Laborator oNCMachineToolsandInteratedManuacturin Euiment Ministr oEducation y y f g f g q p y f Xi′anUniversit oTechnolo Xi′an Shaanxi７１００４８ China y f gy Abstract　Inordertosolvethe roblemsoflowcheckin efficienc low recisionandhihcheckin difficultof p g y p g g y surfacecausedb theoversizeo