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一种新的湿法钝化多孔硅的方法-厦门大学学报自然科学版
44 厦门大学学报( 自然科学版) Vol. 44 Sup.
2005 6 Journal of Xiamen U niversity ( Natural Science) Jun. 2005
*
黄燕华, 陈松岩 , 蔡贝妮
( , 361005)
: HF ,
., . , 60e
2
, 1 mA/ cm , 10 m in ,
. , (FTIR) X (XPS) ,
.
: (PS) ; (PL) ; ( PAS) ; (FTIR)
: TN 305. 2 :A :0438 0479(2005) Sup 0334 04
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FIPOS( ) SOI( sil , Si Hx Si Sx
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,
10 8 # cm
,
P ( 100) , ,
.
Au , .
,
V ( HF ):V ( ) = 1:2 ( HF ( 40%) .
. ,
, ,
,
2
30 mA/ cm 5 min.
.
( 1
g 40 mL ,
, Si Hx
2 mLHF ) ,
, ,
.
.
, PL, FT IR, XPS . PL He
[ 7~ 14] , Cd 325 nm
, , 20 mW. FT IR Nicolet
, . AVATAR FT IR360 , 16. XPS
, . FT IR : PHI: PHYSICAL ELECTRONICS
Quantum 2000 Scanning ESCA MICROPROBE, X
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