聚合物超声波压印成形工艺及优化-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 硕士学位论文聚合物超声波压印成形工艺及优化 硕士学位论文 聚合物超声波压印成形工艺及优化 Ultrasonic embossing polymer forming process ancl 0Dtlmlzatlon 学完成日期： 2Q!§生Q§旦 大连理工大学 Dalian University of Technology 万方数据 大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究 大连理工大学学位论文独创性声明 作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究 工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外， 本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请 学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献 均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。 作者签名：——二红三j臻I／二学位论文题目： 塞佥堑超直达压卫盛型王艺区位焦 日期：—丝年—厶月√鱼日 万方数据 本文由国家自然科学基金项目“ 本文由国家自然科学基金项目“聚合物微纳结构超声波压印产热机理 与成形关键问题研究”；国家重点基础研究发展(973)计划， 课题“跨尺度热运输系统集成制造及LED精简热模型”(201ICB013105) 资助完成，特此感谢! 万方数据 大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 在聚合物微结构加工领域，超声波压印成形技术作为一种比较新的加工微结构的技 术，相对于传统的微结构加工技术的优势有很多，例如，清洁环保、节约资源、操作简 单等优点。综合考虑，该成形技术对我国建设环境友好型的社会有着很大的推动作用。 目前，超声波技术已经被广泛的应用于工业、电气、航空航天、产品包装、微小器件的 生产等领域。但是，超声波技术在聚合物微器件成形领域的应用仍处于实验室研究阶段， 可控性的好坏、工艺窗口的大小、成形均匀性、气泡缺陷等问题的研究尚不明确。 由于超声波压印技术的实验可控性和工艺窗口的宽窄问题尚不明确，本论文在目前 已有的超声波压印技术的基础上，以能量模式为依托，进行不同控制模式之间的成形结 果对比，并进行结果分析，探讨不同控制模式对超声波压印成形工艺窗口宽窄的影响， 并设计了一组测温对比实验，得出了较好的控制模式。 在不同控制模式的超声波压印实验结果的基础上，讨论了超声波压印实验后聚合物 表面均匀性的问题，进一步对比分析了不同控制模式下，超声波压印成形结果的质量问 题，并得出在能量850J和950J左右时的超声压印实验中，时间控制模式下的焊头-基片 接触区域非成形区和成形区的均匀性均较好。 在干法刻蚀工艺下，我们针对不同微结构的超声波压印实验结果进行分析。详述了 干法刻蚀工艺下，硅模具的制作流程和刻蚀结果。并根据超声实验后基片脱模困难的问 题，在干法刻蚀后的模具上制作一层脱模剂，保证聚合物基片在模具上的顺利脱模。通 过有限元仿真平台对微结构进行应力分布分析，为干法刻蚀工艺下的对比微结构超声波 压印实验提供了参考依据。 为了尽快使聚合物微器件超声波压印工艺进入社会生活，我们还讨论分析了聚合物 微器件的气泡缺陷问题。针对气泡的产生和运动机理进行研究，并提出了相应的抑制气 泡产生的方法，主要有降低温度和增加静压强两种方法。 关键词：微结构；能量控制模式；均匀性；缺陷；应力 万方数据 聚合物超声波压印成形工艺及优化Study 聚合物超声波压印成形工艺及优化 Study of ultrasonic manufactured crafts for polymer micro devices Abst ract In the field of micro structure of the polymer processing，ultrasonic embossing technology iS a new micro fabrication technology．Compared with many traditional micro structure processing technology，it has a lot of advantages，such as clean and environmental protection， resource saving，simple operation and other advantages．Comprehensive consideration，this forming technology plays a significant role in promoting the m