纳米工艺寄生参数提取优化-集成电路工程专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 第 一 章 第 一 章 绪 论 夸1.1 引言 自 194 7 年 B ell 实 验 室 第 一 个 晶 体 管 ( 点 接 触 三 极 管 ) 的 诞 生 ， 标 志 了 晶 体 管 时 代 的 开 始 ，半 导 体 集 成 电路 展 开 了其 辉 煌 发 展 的 一 页 ，在 过 去 的 半 个 多 世 纪 中 ，集 成 电路 不 管 是 制 造 工 艺 、 技 术 ，还 是 电路 设 计 、E D A 工 具 等 方 面 都 有 着 突 飞 猛 进 的 长 足 发 展 ，它 对 整 个 世 界 发 展 形 态 的 影 响 是 巨大 且 不 容 忽 视 的 ，并 且 在 未 来 将 继 续 延 续 其 影 响 力 。 在 半 导 体 集 成 电路 的发 展 过 程 中 ，它 一 直 围绕 着 一 条 著 名 的 定 律 — 摩 尔 定 律 。这 一 有 预 言 魔 力 的 定 律 是 由英 特 尔 公 司 的 创 始 人 之 一 ，戈 登 ·摩 尔 (G ord on M oore ) 于 196 5 在 总 结 存 储 器 芯 片 的增 长 规 律 时 提 出 的 。按 照 这 一 定 律 ， 集 成 电路 (Ic : Iniegrate d Ci rcu it) 的 集 成 度 每 18 个 月 翻 一 番 ，整 个 产 业 几 乎 严 格 地 遵 循 着 这 一 规 律 按 指 数 方 式 引 导 着 整 个 经 济 发 展 的 步 伐 。 近 几 年 来 ，集 成 电 路 的 最 小 特 征 尺 寸 正 经 历 着 从 o .18um 、o .13u m 、 90 nm 至 65 lun 、45 nm 的 发 展 演 变 过 程 中 ， 整 个 集 成 电 路 产 业 己经 跨 入 了纳 米 级 的 时 代 。 而 这 一 跨 越 也 带 动 和 促 进 了 集 成 电路 制 造 工 艺 的进 一 步 发 展 ，以及 更 多 基 于 纳 米 级 工 艺 的 设 计 流 程 和 方 法 的 开 发 与 变 革 。上 世 纪 ，集 成 电路 设 计 方 法 学 是 从 第 一 代 以器 件 设 计 为 中心 逐 步 转 向第 二 代 以互 连 线 为 中 心 的 设 计 变 革 。而 现 今 跨 入 新 世 纪 ，集 成 电路 又 迎 来 了新 一 轮 的 变 革 ，即 从 传 统 的 以 互 连 线 为 设 计 中 心 转 向 以 可 制 造 性 (D F M ) 及 成 品 良率 提 升 为 中心 的 设 计 。ll] 在 进 入 90 lun 之 后 ，随着 65 nln 、45 nm 工 艺 的推 进 ，可 制 造 性 的 设 计 (D F M ) 需 求 逐 渐 突 显 出来 ，这 就 要 求 在 传 统 的 电 路 建 模 、设 计 分 析 中 需 要 进 一 步 考 虑 电 路 芯 片 制 造 过 程 中所 存 在 的 各 种 参 数 变 异 (偏 离 ) 问题 。在 纳 米 工 艺 中 ，互 连 线 的 复 杂 度 (密 度 ) 直 接 影 响 和 主 宰 着 电路 的 性 能 。而 这 其 中 ，光 刻 (Litho / Etch )、 化 学 机 械 抛 光 (C M P) 等 工 艺 的 偏 离 在 很 大 程 度 上 影 响着 互 连 线 尺 寸 的 偏 差 ， 从 而 进 一 步 导 致 电路 的 不 可 预 测 性 ，成 品 率 低 甚 至 产 品 失 效 的 危 险 。因 此 ，在 进 入 纳 米 工 艺 之 后 ，影 响 寄 生 参 数 提 取 的 工 艺 偏 离 影 响 因 子 不 容 忽 视 ，而 这 一 趋 势 也 引 导 着 寄 生 参 数 提 取 流 程 及 其 相 应 文 件 开 发 与 验 证 的变 革 和 提 升 。 寄 生 参 数 提 取 作 为 后 端 验 证 流 程 中 至 关 重 要 的 一 环 ， 是 连 接 晶 圆 代 工 厂 (Fo un dry ) 和 设 计 (D esign ) 之 间 的 一 个 中 间 媒 介 。 它 通 过 整 合 工 艺 参 数 信 息 及 各 种 工 艺 效 应 ，对 电路 版 图进 行 寄 生 参 数 提 取 ，并 通 过 后 仿 模 拟 给 予 设 计 者 一 个 经 个 经 历 一 系 列 工 艺 流 程 之 后 芯 片 电 路 功 能 及 性 能 的 预 测 和 评 估 。 本 文 结 合 纳 米 工 艺 中 工 艺 参 数 的偏 离 效 应 (P roc ess 、妞riati on )，针 对 65 nm 工 艺 寄 生 参 数 提 取 流