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纳秒脉冲驱动准分子光源的实验及模型研究物理电子学专业论文
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复 旦 大 学 硕
复 旦 大 学 硕 士 论 文
第 一 章 绪 论
己 l侣旨
J 1 1斗
随 着 现 代 工 业 的 发 展 、经 济 的 繁 荣 ,产 生 的 工 业 及 生活 污 染 物 也 越 来 越 多 , 如 果 这 些 人 为 排 放 的 污 染 物 不 经 处 理 就 进 入 大 气 、水 体 或 土 壤 ,则 会 对 环 境 造 成 极 大 的 危 害 。因 此 ,保 护 我 们 的 生 存 环 境 不 受 污 染 , 己成 为 世 界 性 的 课 题 。尽 管 已有 不 少 成 熟 的 工 业 废 水 废 气 处 理 技 术 ,探 索 更 有 效 和 成 本 更 低 的 污 染 治 理 技 术
一 直 是 当 今 环 保 领 域 的 研 究 热 点 。高 级 氧 化 法 (A d v an eed o x id ation P ro eesseS,简 称 A O Ps )是 20 世 纪 80 年 代 发 展 起 来 的 一 种 污 染 物 处 理 技 术 ,作 为 一 种 有 效 的 废
水 处 理 手 段 ,A O Ps 近 年 来 引 起 了越 来 越 多 的 关 注 「’][2][ 3][4][,】。 其 原 理 为 有 机 物 在 紫 外 光 和 氧 化 剂 或 催 化 剂 的协 同作 用 下 ,逐 步 被 氧 化 成 低 分 予 中 间 产 物 最 终 生 成 二 氧 化 碳 、水 和 其 它 无 机 离 子 。每 一 种 化 合 物 (包 括 03 和 H 20: 这 两 种 最 常 用 的 氧 化 剂 )都 有 一 最 佳 的 吸 收 波 长 ,只 有 在 紫 外 辐 射 的 波 长 与 有 机 物 的 吸 收 波 长 相 匹 配 的 情 况 下 ,其 效 率 才 能 达 到 最 大 [6]。这 就 需 要 紫 外 光 源 能 够 发 射 特 定 的 窄 带 光 谱 ,并有 一 定 的辐 射 强 度 。传 统 光 氧 化 方 法 中所 用 的汞 灯 发射 的 光谱 只有 185 nln 和 2 53 .7 nm 两 条 可 供 使 用 ,很 难 与 多 种 有 机 污 染 物 的 吸 收 光 谱 匹 配 。所 以 ,尽 管 汞 灯 的 辐 射 效 率 很 高 ,但 其 辐 射 不 是 总 能 被 有 效 利 用 。因 此 有 必 要 研 究 开 发 适 于 工 业 应 用 的 特 定 波 长 高 强 度 的 新 型 紫 外 光 源 。
采 用 介 质 阻 挡 放 电激 发 产 生 准 分 子 紫 外 辐 射 的 准 分 子 紫 外 光 源 具 有 上 述 所
要 求 的特 性 。用 稀 有 气 体 或 稀 有 气 体 与 卤素 的 混 合 物 产 生 的气 体 放 电 可 以激 发 准 分 子 , 并 产 生 波 长 从 近 紫 外 (4 0 0 nm )到 远 紫 外 几 个 纳 米 的 非 相 干 性 发 射 。激 发 的 可 能 的 准 分 子 辐 射 包 括 x eZ* 、F Z* 、e lZ* 、B 几* 、xZ* 、A rB r* 、A re l* 、助 F * 、心 I* 、 KI B r* 、持 F * 、 X ex* 、 X eC I* 、x eF * , 辐 射 波 长 范 围 从 172nm 到 3 5 Inm [7]。 通 过 选 择 合 适 的准 分 子 光 源 以及 控 制 放 电 参 数 可 得 到 符 合 要 求 的较 窄 的 紫 外 辐 射 ,并 用 于 引 发 光 化 学 、光 物 理 反 应 ,进 行 废 水 废 气 处 理 ,材 料 的表 面 改性 、加 工 ,薄 膜 的 沉 积 、 刻 蚀 [8]。
1.2 准 分 子 紫 外 光源
:2 1 准 分 子 191
准 分 子 是 一 种 处 于 激 发 态 的 双 原 子 分 子 (英 文 为 exc ited dim m er, 简 写 为
复
复 旦 大 学 硕 士 论 文
ex cim er), 不 存 在 稳 定 的 基 态 。 通 常 情 况 下 , 这 种 非 稳 态 的 激 发 态 分 子 仅 能 存 在 几 个 纳 秒 ,然 后 通 过 自发 辐 射 的 方 式 跃 迁 回 能 量 较 小 的状 态 就 会 辐 射 出 光 子 ,同 时 分 解 为 原 子 。
准 分 子 一 般 包 括 稀 有 气 体 (R gZ*)、 卤 素 (X Z*)、 稀 有 气 体 一卤素 (R g X *)以及 汞 · 卤素 (H gX *)二 聚 物 ,其 光 谱 是 位 于 紫 外 和 真 空 紫 外 区域 的
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