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24 4 Vol24 No. 4
2003 8 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE Aug., 2003
: 1000-7032(2003) 04-0431-04
直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度
1 1 1 1 2 2 3
王 欣 , 高丽娟 , 于陕升 , 郑伟涛 , 徐 娓 , 郭 巍, 杨开宇
( 1. ; 2. ; 3. , 130023)
: , Ar/ N , N ( N
2 2 2
5%, 10%, 30%,50%) ( 160,30,20, 10,5min) ,Fe N X
x
( XPS)N ; X ( XR ) N Fe N
2 2 x
, N 5% FeN , 10% -Fe N , 30%50% FeN
2 0056 3
(AFM) X (GIXA) , N
2
,, :
N , 5% , 065, 053
2
002, Kolmogorov KPZ
: ; ;
: O4841 : A
d + 1( d )
1 引 言
,
KPZ
[ 5~ 7]
,, , 2+ 1, Kolmogorov
[ 1]
066, 05
KPZ ,
: + / = 2,
, ,
[ 1, 3]
Eden KPZ
[2,3]
,
, 1952 ,
[ 8]
2 ,Fe N( x
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