液晶材料与技术之LCD工艺技术(PPT 124页).pptVIP

硅烷是强还原剂，能与重金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。 因此，对硅烷不能使用氟利昂灭火剂。 硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氧化硅，不与润滑油、脂肪反应;对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。 依据硅烷在化学品安全技术说明书（material safety data sheets , MSDS）的资料，硅烷的致死半浓度（LC50）为9600ppm(4h)，美国政府工业卫生学家会议（American conference of governmenal industrial hygienists， ACGIH）明确规定在每天工作8h或一周40h的情况下，连续工作不影响工作人体健康的硅烷气体临界浓度值（threshold limit value,TLV）为0.05ppm。 实际上，在工作环境中允许浓度是采用5ppm的基准测定的。 在低浓度混合气体状况下，由于泄漏在空气中有一定的稳定性，因此建议推荐使用硅烷气体检测器。 在高浓度纯气体状况下，因其泄漏可能燃烧成大量的二氧化硅(Si02 ) 粉尘，因此可以推荐采用硅烷+二氧硅(SiH4+SiOz)复合型的检测器和紫外/红外(UV/IR)监测器。 空气中允许的硅烷浓度为0.5 ppm;一级报警浓度为0.30 ppm；二级报警浓度为0.60 ppm。听到报警，工作人员必须迅速撤离现场。 在TFT制造中采用的是高纯度的硅烷，对一氧化碳、二氧化碳、甲烷和水的含量都要求小于0.1 ppm。对氮气和氧气+氩气的含量也要小于1 ppm。 2、磷烷 磷烷是制作n+非晶硅的反应气体，其外观无色，比空气重，并有类似臭鱼的味道，气体经压缩液化后运输; 分子量 34.0 比重 1. 18 沸点 -87.7 ℃ l个大气压 冰点/熔点 -133. 0 ℃ l个大气压 气体密度 0.0886 lb .(ft)－3 21.1 ℃ 临界温度 51.9 ℃ 蒸气压 522 lb· m 2 21.1 ℃ 磷烷虽然是一种剧毒气体，但是在TIT制作工艺中，生产是在安全条件下进行的。 在TFT制造中采用的是高纯度的磷烷，其工艺载气氢气也是高纯度的。 磷烷气体纯度要求在99.999%以上，工艺载气氢气的纯度要求在99.99999%以上。 工艺载气氢气对氧、一氧化碳、二氧化碳和甲烷的含量都要求小于0.5 ppm，对氮气和水的含量也要小于1 ppm，磷烷对氢气含量的要求小于0.05 ppm， 同一条件下生产的同一次出厂的为一批。不同批次的产品不要混淆。交货时须同时提交产品原料纯度检验单。气瓶上要明确记载气体名称、生产公司的产品编号、纯度、填充日期等。 磷烷在空气中允许浓度为0.3 ppm；一级报警浓度为0.25 ppm；二级报警浓度为0.5 ppm。 听到报警，工作人员必须迅速撤离现场。 磷烷是具有自燃性的剧毒气体，皮肤接触液体，会造成刺激和冻伤。多次暴露的会潜在影响健康。吸入磷烷，会损害肺、心、肝、肾、中枢神经系统和骨骼等。 重复暴露在低浓度磷烷中，产生的症状包括支气管炎、厌食、神经系统问题，以及类似于急性中毒的症状。因此，使用时一定要注意安全操作。 3、氨气 氨气是合成绝缘层和保护膜的反应气体； 分子量 17.0 比重 0.59 沸点 －33.4℃ l个大气压 冰点/熔点 -77.7 ℃ l个大气压 气体密度 0.045 lb .(ft)－3 21.1 ℃ 水溶性 0.848 蒸气压 114.4 lb· m 2 21.1 ℃ 氨气为无色气体，但有强烈刺鼻的气味，在其浓度为20ppm时可以稳定监测。 氨气具有可燃性，会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。 当它在空气中的浓度超过15％时，会有立即造成火灾及爆炸的危险。 当氨气大规模泄漏时，工作人员需要穿全身防护服，并立即随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。 氨气的品质纯度要求为99.999wt%以上。使用中需要注意不同批号的产品不要混合使用。 4、笑气 这是合成绝缘层和保护膜的反应气体。 笑气常温下为无色气体，略带甜味，吸入能使人狂笑，是一种氧化剂; 化学性质稳定，不燃烧、不爆炸、无毒性，对呼吸道无刺激; 有助燃性，在室温时稳定，受高温有爆炸危险; 在300 ℃以上离解，能溶于水、乙醇、乙醚及浓硫酸;其熔点为-90.8 ℃ 1沸点为-88.49 ℃ ，蒸气压为 506.6 kPa(一58 ℃) ，临界温度为36.5 ℃ ，临界压力为7 265 kPa。 笑气品质的纯度要求为99. 999％以上。采购该原料要有质量分析。 5、氢气 氢气是与硅烷合成非晶硅的反应气体。 单质氢气是由两个原子以共价单键的形式结合而成的双原子分子，其键长为74 pm。 氢气是