仿生粘性材料的制备与力学能研究机械设计及理论专业论文.docxVIP

NaIljhag NaIljhag University ofAeronautics and Astronautics The Graduate School College of Mechanical and Electrical Engineering Fabrication and Adhesion Study of ■T{：，， Biomimetic Viscous Material AThesis in Mechanical Engineering by WU Bin Advised by Associate Professor Wang Weiying Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Engineering January,2010 哈 曲 承诺书本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进 承诺书 本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进 行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致 谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成 果，也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位 或证书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本承诺书) 作者签名： 日 期： 4盼 ? 南京航空航天大学硕士学位论文摘要 南京航空航天大学硕士学位论文 摘要 树蛙趾端带有椭圆形的吸盘，依靠吸盘所产生的粘附力，可在竖直的墙面或树叶表面上攀 爬跳跃，以树蛙吸盘粘附结构的仿生学研究为基础制造仿生粘性材料，对于爬壁机器人足掌设 计、新型胶带开发等都具有重要意义。 本文采用负性光致抗蚀剂为模板材料，对厚层光致抗蚀剂的光刻工艺进行了大量实验研究， 通过不同厚度胶膜的光刻工艺实验发现：过低的前烘温度容易导致胶膜显影后出现过度刻蚀、 胶膜塌陷等缺陷；曝光剂量应控制在合理范围，剂量过高或过低均会导致复模后线型失真：适 当加入后烘工艺可以有效提高胶膜表面质量，降低表面粗糙度，提高胶膜的机械性能。利用三 维形貌仪测得显影刻蚀后的胶膜阵列结构微观形貌及尺寸，通过多次类比实验对相关光刻工艺 参数进行了优化。 研究了聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料在光刻胶模板上的浇注固化工艺。分析了PDMS材料 本体／固化剂配比对弹性模量的影响，测试了固化温度与时间的关系，制备了表面具有微阵列结 构的仿生粘性材料。在力学测试系统中对所制备的粘性材料进行了粘附性能测试，测试结果表 明：材料表面微观结构、材料弹性模量、接触表面形貌等直接影响材料的粘附性能。 关键词：树蛙，光刻工艺，聚二甲基硅氧烷(PDMS)，粘性材料 ● 蛙足粘附结构的仿生制造ABSTRACT 蛙足粘附结构的仿生制造 ABSTRACT Tree frog possesses elliptical adhesive discs which enable tree frog to adhere to the vertical wall and leaf．The smdy of tree frog adhesive discs will provide great inspiration to the development of new tape and adhesive devices for wall-climbing robot． We conduct many experiments on thick photoresist lithography technology and then manufacture the template materials with negative photoresist．By means of the process investigation in different thickness film lithography，we come to the conclusion勰follows：(1)if the temperature of bofore-exposure bake is too low,the photoresist Oil the film surface will be over-etched in the developing process．(2)exposure energy should be controlled within reasonable limits，too high or toO low exposure ener