多孔阳极氧化铝模板的制备表征以及在半导体纳米结构材料制备中的应用凝聚态物理专业论文.docxVIP

上海交通大学博士学位论文 上海交通大学博士学位论文 中文摘要 上完整地剥离。剥离之后转移到稀释的磷酸中扩孔不同时间可以去除 底部阻碍层，得到不同孔径的模板，实现自由独立的双通超薄PAA 模板。这种自由独立的模板具有可移植性，可以自由转移到硅、砷化 镓和玻璃等基底上，使制备纳米点、纳米孔阵列体系成为可能。我们 不仅实现了草酸模板的移植，还实现了更加难以控制的磷酸PAA模 板的移植。这为我们进一步研究纳米结构阵列奠定了基础。 为了更好地利用PAA模板，我们研究了PAA模板的相关特性。 包括其晶体结构、光学性质和表面特性。晶体结构方面，刚刚制备的 和低温热处理的草酸模板都是非晶的，在热处理温度处于800到950 oC时，氧化铝模板开始晶化，并且在1100 oC以下高温热处理以后， 形成a．A1：03。初始的草酸模板和硫酸模板都是非晶的，这与草酸模 板制各过程中电解液温度、电解时间无关。磷酸模板一般为晶体和非 晶体共同组成，晶体成份的比例与电解电压、电解液组成和电解液温 度共同决定。模板的光学方面，在透射谱1500．1700 cm-1的位置出现 了两个吸收峰正对应了典型的羧酸盐中的C=O振动，羧基官能团则 来自于模板中草酸杂质的部分分解。光致发光谱中的发光带可分解为 两个发光中心的共同作用。这两个发光中心分别在~400 rim和～470 nm的位置，并且分别对应于F+中心和羧基杂质转移到发光中心的发 光。不同孔径及不同厚度的PAA模板的透射率不同，折射率也随之 变化。PAA模板的表面特性方面，我们主要研究了表面电荷的分布和 表面浸润性。由于电解过程中，电解质当中的阴离子在电场的作用下 进入到PAA模板的内部形成了掺杂，并且这种掺杂不是不均匀的， 上海交通大学博士学位论文 上海交通大学博士学位论文 串文摘要 越是这种不均匀分布导致模板表面产嫩局域化负电荷，这些负电荷在 纳米绩构材料的制各过糕巾将扮演耋要焦色。A1203块誊季表露是亲本 性的，我们研究发现几乎所有PAA模板也是亲水性的，但亲水性能 与PAA的构型有一定的关系。 最后我们的研究重点在于利用PAA模板制备半导体纳米结构材 料。我们分别利用PAA模板制备了不同材料的纳米点和纳米孔阵列 体系。剩焉PAA终秀模投，结合电子柬蒸发沉积技术，我嚣j稍各密 氧化锌纳米点阵列并且详细表征了它的微结构和光学特性，结果表明 搿褥裂ZnO纳米点具舂{蕤好的结鑫矮量。为了提离蘑沉积麓纳来点 的丽密度，突破PAA模板孔密度的制约，我们通过等离子体辅助的 化学气相潺获，班PAA为掩膜，成功刽备了硅绒米点阵列，这释阵 列的每一个纳米点又是由很多独立的爨子点组成，这样的阵列与其它 文献所报道的利用PAA l乍为模板所制备的纳米点阵列不周，它将缀 米点的面密度提高了一个数量级并且每个纳米点可以作为一个独立 的鬣子器件，而纳米点阵列体系就形成了一个量子器件的阵列，这对 于提高量子器件的效率移灵敏度有着霾要的意义。低温下的电学测试 表明这种“点中点”特殊纳米结构的确存在量子效应。我们还讨论了 摸援对予硅入工纳米点簿别豹影确。为了迸一步提高纳寒点的嚣密 度，利用磁控溅射我们在一个PAA纳米孔中沉积了多个In203纳米柱， 遵过控毒l溅萋重王艺我餐可以在每个PAA赣岽魏中褥到远3§个缡米 柱，并且这些纳米柱是彼此独立的。我们还分别讨论了溅射工艺和模 板结橡对予这静“点中桂”缝橡鲍影响。 上海蹙疆丈学博士学像豫文利用PAA模板我们还组装纳米孔阵列体系。我们提出了一种非 上海蹙疆丈学博士学像豫文 利用PAA模板我们还组装纳米孔阵列体系。我们提出了一种非 常具有裁薪性的制各纳米我的方法，鼯黜甩PAA模板匏表鬣所具有 酌箭域纯负电荷，让所沉积材料沿着PAA模扳的魏壁向上擞长，所 沉积材料以类似外延生长的模式复制了PAA模板的构型，而这种复 潮避程与PAA模叛豹iL遂深度关系不大。我懿蓄宠镂备了ZnO鬃寒 孔，ZnO本身熟有六角形龋粒，极性表面和取向生长，结合PAA模 板我们不仅得到了ZnO单层纳米孔结构，还褥到了一层一层生长的 多艨纳米孔结构。其次在溅射生长In203独立纳米棒的基础上，利用 PAA模板我们进～步将这必纳米棒组凝