电容式微型加速度传感器的建模仿真及优化设计研究-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

主曼型堂垫垄盔堂苎主丝塞 主曼型堂垫垄盔堂苎主丝塞 一一—．塑_一茎一 摘 要 MEMs的建模仿真对于缩短它的研制周期、降低成本、提高产品性能有着极为重要 的意义。电容式微加速度传感器是一种典型的MEMS产品，有关它的建模、仿真和优化 研究，对探索MEMS的建模仿真技术具有较大的参考价值。本文首先论述电容式微加速 度传感器的分类、现状和发展趋势，并对它的若干关键技术及研究方向加以探讨。 本文在分析电容式微加速度传感器力学原理和测量电路原理的基础上，对它的气体 阻尼及动态特性进行了研究。建立了电容极板阃常压下的压膜气体模型，并引入气体分 子的滑移边界条件对它进行了修正：还建立了敏感质量块一活动电极与衬底间滑膜气体模 型和极稀薄气体阻尼模型，在此基础上提出了微结构气体阻尼的优化的策略。本文还在 构造传递函数的基础上，对这种传感器的动态特性进行了机电一体化的仿真分析，并分 析了系统参数对动态特性的影响，还探讨了静电力作用下系统的稳定性问题，给出了系 统的稳定区间。 另外，本文还分析了微结构的结构参数对加速度计性能的影响，提出微结构优化设计 的一般策略，并探讨了不同加工条件下的微结构优化设计的关键问题，并分析了静电力 反馈回路中关键电压的计算和优化问题。 作为设计、建模和仿真研究的应用，本文还实际设计了一种用LIGA工艺电容式微加 速度传感器，给出了微机械结构和测量电路的具体设计方案。 关键词：矗MEMS 电容式微加速度传感器建模仿真优化设计气体阻尼 致它≥桃锹f纯 Ph．n Ph．n Thesis ofUSTC Abg仃act Abs仃act The modeling and simulation of MEMS(Micro Electro Mechanical System)are very important for improving its performance，shortening its development period and lowering its COst．The micromachined capacitive accelerometer iS one of the typical MEMS producLs．The research on its modeling．simulation and optimization iS of great referential value for exploring the technology of the modeling and simulation of M匣MS．This thesis first states也e category． present situation and development trend of the micromachined capacitive accelerometer，then discHsses some key technologies and research direction． In this thesis the gas damping and dynamic characteristics ofthe micromachined capacitive eccelerometer are studied．11lc model of squeeze gas film between plates under ordinary pressure is established and the slip boundary conditions ofthe gas molecule are introduced．The model of slip gas film damping between substrate and sensitive mass—movable plate and the model of extreme thin gas damping are established，based On which the optimizing method of the gas damping of the microstructure iS put forward．The analysis of electromechanical integrated simulation of the dynamic characteristics of this kind of accelerometer is conducted after constructing its transfer fimction．ne effect of system parameters on the dynamic