多孔电极平板结构的PdPcH_2PtCl_6杂化有机半导体毒气传感器的研究.pdfVIP

第 14 卷 　第 5 期 　 光学 精密工程 Vol . 14 　No . 5 2006 年 10 月 　　 　　　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 Oct . 2006 ( ) 文章编号 　1004924X 2006 多孔电极平板结构的 PdPc/ H PtCl 杂化 2 6 有机半导体毒气传感器的研究 施云波 ,张洪泉 ,项金娟 ,冯侨华 ,胡竹平 ,郭建英 ( 哈尔滨理工大学 测控技术与通讯工程学院 ,黑龙江 哈尔滨 150080) 摘要 :采用“摸扳法”以对甲基苯酚 、4硝基邻苯二晴为原材料 , 以N ,N 二甲基甲酰胺为溶剂 ,在 N2 保护和碳酸钾的催 化作用下 ,合成了酞菁分子碎片 ,通过质谱分析确定了相对分子质量为 243 (理论值为 243 . 34) ,验证了工艺过程的正确 性 。以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇 、DBU 作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基 PdPc ,通过红外吸收光谱分 析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合 ,确定了合成反应终产物 ,进而以一定比例将 PdPc 、H2 Pt Cl6 共溶在甲醇 溶液中 ,在 30～50 ℃下 48 h 杂化合成为有机半导体气敏材料 。依据欧姆定律 ,并以激光微加工 、半导体技术设计 、制作 了多孔电极平板结构 ,增大电极面积 ,降低了电极间距 , 比常用叉指电极结构的电阻降低了 103 倍以上 ,使其电导率接近 无机半导体数量级 ,利于后续电路信号采集 。通过电镜观察了多孔电极的微观 SEM 形貌 ,确定其为连续 、多孔的表面 μ 态 ,气孔在 0 . 1～2 m ,既保证了导电,又有透气的特征 。以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜 , 电镜观察其气敏膜 μ μ 的微观 SEM 形貌 ,基本层膜厚 2 m ,并有 0 . 1～5 m 微球结晶体嵌入 ,分布匀一 ,呈现继续互融生长趋势 。以静态法 测量其气敏特性 ,结果表明传感器对 N O2 呈 N 型半导体 ,0 . 0 10 %气体浓度下灵敏度为 7 . 45 倍 ;对 N O 呈 P 型半导体 , 0 . 0 10 %气体浓度下灵敏度为 0 . 25 倍 ;响应时间为 90s 。对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关 。 关 　键 　词 :多孔电极 ;平板结构 ;有机半导体 ;杂化 ;毒气传感器 ;半导体传感器 中图分类号 : TP2 12 . 1 　　文献标识码 :A Study on PdPc/ H PtCl hybridized organic semiconductor poison 2 6 gas sensor of porous electrode flat structure SH I Yunbo , ZHAN G Hongquan , XIAN G J inj uan , F EN G Qiaohua , HU Zhup ing , GU O J ianyin g ( Col leg e of Obs e rv at ion , Cont rol Tech nol og y an d Com m unicat ion E ng