洁净室设计规范教程.pdf

无尘室内装设计规范介绍 主講人:刘汪洋 上鼎工程建設(上海)有限公司 2008/01/22 1 等级标准介绍  1963年，美国出了个洁净室联邦标准Fed Std 209。在 209标准中，洁净室按环境中每立方英尺空间≥0.5µm的 粉尘最大数量限度分成若干级别，如100级、10,000级、 100,000级。中国过去的洁净室标准也是按这种方法分级 的。  1999年，国际标准化组织ISO颁布了洁净室国际标准 ISO14644-1 《洁净室与受控洁净环境，第一部分：空气 洁净度分级》。ISO规定的洁净度等级以及传统分级的具 体数值见下表。 2 等级标准介绍 3 ISO1464 最高浓度极限（颗粒数/m ） 近似对应 4 传统规格 分级 0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 1.0µm 5.0µm ISO 1级 10 2 ISO 2级 100 24 10 4 ISO 3级 1,000 237 102 35 8 1级 ISO 4级 10,000 2,370 1,020 352 83 10级 ISO 5级 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 100级 ISO 6级 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 1,000级 ISO 7级 352,000 83,200 2,930 10,000级 ISO 8级 3,520,000 832,000 29,300 100,000级 ISO 9级 35,200,000 8,320,000 293,000 3 洁净室等级标准  用公式表示上述指标：  Cn = 10^N (0.1/D)^2.08  式中： Cn = 每立方米空间最大允许大于某粒径颗 粒物的数量浓度；  N = ISO洁净度分级数；  D = 颗粒物尺度，单位为微米；  0.1 = 常数，单位为微米。 4 洁净室等级标准 说洁净度应该对应洁净室的状态：空态（新建，空屋 子），静态（设备就位，无人员），动态（正常工作）。 具体工程所说的“洁净度”是指哪种状态，要由用户与设 计、供货等方面协议确定并明文规定。