剪切电子散斑干涉技术研究-光学专业论文.docxVIP

独 创 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其 他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 （注：如 没有其他需要特别声明的，本栏可空）或其他教育机构的学位或证书使用过的材 料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明 并表示谢意。 学位论文作者签名： 导师签字： 学 位 论 文 版 权 使 用 授 权 书 本学位论文作者完全了解 学校 有关保留、使用学位论文的规定，有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。 本人授权 学校 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可 以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在 解密后适用本授权书） 学位论文作者签名： 导师签字： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 山东师范大学硕士学位论文 山东师范大学硕士学位论文 目 录 摘要................................................................I Abstract..........................................................III 第一章 绪论.........................................................1 1.1 激光散斑现象 .................................................1 1.1.1 激光散斑的概念 ...........................................1 1.1.2 激光散斑的形成途径 .......................................1 1.2 激光散斑计量的起源与进展 .....................................4 1.3 散斑相位检测 .................................................5 1.3.1 相移干涉法 ...............................................5 1.3.2 傅里叶变换法 .............................................7 1.4 本论文的主要工作 .............................................9 第二章 电子散斑干涉测量术..........................................11 2.1 电子散斑干涉测量 ............................................11 2.1.1 电子散斑干涉术的现状和发展前景 ..........................11 2.1.2 电子散斑干涉的测量分类 ..................................11 2.1.3 电子散斑干涉基本原理 ....................................14 2.2 散斑图像处理方法 ............................................15 2.2.1 相加模式 ................................................16 2.2.2 相减模式 ................................................16 2.3 小结 ........................................................17 第三章 基于两种剪切镜的剪切电子散斑干涉............................19 3.1 基于沃拉斯顿棱镜的剪切电子散斑干涉术 ........................20 3.1.1 沃拉斯顿棱镜剪切原理 ....................................20 3.1.2 基于沃拉斯顿棱镜的剪切电子散斑干涉术原理 ................21 3.1.3 典型实验与结果 ..........................................24 3.1.4 误差分析 ................................................26 3.2 基于方棱镜的剪切电子散斑干