基于MEMS技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制-生物医学工程专业论文.docxVIP

基于MEMS技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制-生物医学工程专业论文.docx

  1. 1、本文档共84页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
基于MEMS技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制-生物医学工程专业论文

附件五 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定, 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子 版,允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位 论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本学位论文属于 保密口,在一一年解密后适用本授权书。 不保密[Q。 〈请在以上方框内打 .J ) 学位论文作者签名: 71,叫 日期:J t 年之月功日 日期: /S 年之月沁日 2 万方数据  ---- 重 上海交通大学硕士学位论文Ab 上海交通大学硕士学位论文 Abstract 万方数据 万方数据 基于 MEMS 技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制 摘 要 视觉是人各种感觉中最重要的一种,正常获得视觉的前提是具备 完整有效的视觉通路。研究表明,大部分盲人的视觉通路并非完全损 毁,通过电刺激视觉通路尚具有功能的部分,视觉假体能帮助假体植 入者得到一定程度的人工视觉。视觉假体依靠作为神经接口的微电极 阵列实现假体和患者之间的联接,根据微电极阵列植入部位的不同, 视觉假体可以分为视皮层假体、视神经假体和视网膜假体三种,这其 中视网膜假体由于其刺激位点与视野的拓扑对应关系好、刺激器对组 织损伤小,且最大限度保留视觉通路的功能等优点,成为不同类型视 觉假体中最具应用前景的一种。 为了使假体植入者获得良好的人工视觉,视网膜假体必须具有足 够高分辨率,对应的微电极阵列必须具有足够高密度的刺激位点。基 于 MEMS 技术,我们设计并制作了两种不同规格的微电极阵列,都采 用光敏型聚酰亚胺(PI)作为绝缘材料,金属铂(Pt)作为导电材料, 在聚合物和导电金属层之间加入钛(Ti)层增加粘附性。其中采用传 统工艺制作了 30 通道的微电极阵列,刺激点的直径为 350μm,以 5× 6 的矩阵式排布。电极线宽和最小线间距分别为 30μm 和 40μm。在对 传统工艺制作微电极阵列过程中 Lift-Off 方法出现的问题做了总结和 分析后,我们提出采用离子束刻蚀(Ion Beam)的方法制作金属导电 层。利用新工艺制作的微电极阵列通道数达到 121 个,微电极阵列采 用单层布线,刺激点以 10×12 的矩阵式排布,直径为 280μm,在底端 加入了一个 700μm 直径的回收电极,导线宽度和线间距都是 10μm。 经过力学性能、电学性能、电化学分析和生物相容性等测试,结果表 I 明,采用新工艺制作的微电极阵列不仅具有和传统工艺同样优良的力 学、电化学等性能,且刺激点密度得到了有效提升,这为视网膜假体 分辨率的提高奠定了基础。 关键词:视觉假体,视网膜假体,微电极阵列,MEMS,高密度 II A HIGH-DENSITY MICROELECTRODE ARRAY FOR VISUAL PROSTHESIS BASED ON MEMS TECHNOLOGY ABSTRACT Vision is the most important part of senses of human being. Having a complete and effective visual pathway is the only way to gain normal vision. Researches show that the vision pathway of the blind was not damaged totally. By stimulating function-remained part of visual pathway, visual prosthesis provides some degree of artificial sight for visual disabled patients. As the neural interface between the visual prosthesis and biological tissue, the MEA(micro electrode arrays) is the key part of the device and the gateway of all the information. According to the different parts of MEA-implant positions, there are three kinds of prosthesises, they are visual cortex prosthesis, optic nerve prosthesis and retina prosthesis. Retin

您可能关注的文档

文档评论(0)

peili2018 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档