基于MEMS的低电压细胞融合芯片与系统的研究-半导体芯片系统设计与工艺专业论文.docx

万方数据 万方数据 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 本论文属于  不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华中科技大学博士学位论文 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 摘 要 细胞电融合技术相对于传统的细胞融合技术而言，具有电参数易于精确控制、 对细胞无毒性、融合效率高、应用对象广泛以及样本损耗低等优点，已经广泛的应 用于杂交瘤细胞的抗体制备、哺乳动物克隆、基因工程研究、癌症疫苗研制以及新 物种的培育等生物技术领域，具有重要的应用价值。 传统的电融合方法中电极间距大，对设备的输出信号幅值要求高，存在设备体 积大，操作存在安全隐患等缺点。随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems， 简称 MEMS)工艺技术的发展，进行微芯片系统下的细胞电融合研究越来越受到关 注，其研究的报导数量也在逐渐上升，但关于细胞电融合的自动化以及相配套的低 电压融合仪器的研究报道较少。利用 MEMS 技术制作融合间距在微米级的微电极芯 片，将大幅降低细胞电融合所需的电压值，提高实验的安全性、可靠性。 本文基于 MEMS 技术，提出了一种细胞进样、融合的自动化集成方案，并设计、 制作了低电压细胞电融合系统。该系统以微电极芯片为实验平台，在自行设计的多 功能细胞操控系统的控制下，实现了细胞的电融合及电破碎，为细胞电融合的微型 化提供借鉴。 细胞的成串排列以及细胞膜的电穿孔是实现细胞电融合的前提。本文首先研究 了细胞的电介质电泳排队以及细胞膜电穿孔理论；在此基础上为寻求细胞膜穿孔电 压与电融合信号之间的频率关系，根据细胞的电学特性，将电学仿真软件 Multisim 分别用于三层、五层细胞电学模型的频率响应特性仿真研究，得出细胞膜对电融合 信号具有低通滤波作用、细胞核膜对电融合信号具有带通滤波作用且它们存在频带 重合的结论；对三层细胞电学模型进行了电感特性修正，为细胞电融合提供了参考。 细胞电融合芯片的电极形状对融合电场的分布、细胞融合的高通量以及细胞融合率 的影响很大。本文利用有限元分析软件 ANSYS 对四种不同形状电极的电场分布进行 了仿真对比，发现交错式半圆形齿状电极结构相对于交错式正方形齿状电极而言， 具有更宽的融合有效电场分布，电场梯度分布均匀更适合细胞的电融合与分离，是 电极设计的首选；并采用剥离工艺在玻璃基底上制作了铂/钛微电极芯片。鉴于细胞 I II万方数据 II 万方数据 电融合对信号源的要求以及现有细胞电融合仪的不足之处，结合细胞破碎以及细胞 电融合系统之间的共性，本文实现了细胞破碎以及细胞电融合系统的集成，设计了 基于微电极芯片的多功能、高精度的细胞操控系统，并进行了细胞破碎以及电融合 的实验研究。从微流控细胞电融合芯片的自动化集成角度考虑，在研究介电击穿理 论以及电渗驱动机理的基础上，本文提出了将介电击穿与电渗驱动结合用于细胞电 融合进样的方案；根据 COMSOL 仿真结果，制作了对称交错式间隙阻隔的介电击穿 微流控进样芯片，并进行了细胞进样实验。此外，本文在细胞电融合的实验中，发 现焦耳热以及电极水解率不但与电场强度、脉冲宽度的大小成正比，还与脉冲的占 空比成正比，它们之间存在一个乘积关系的最优值，对传统的理论进行了补充解释。 本文根据微电极的电场分布以及细胞电融合的信号需求，分别设计制作了微电 极芯片和细胞操控系统，实现了低电压细胞电融合系统的集成。该系统具有所需融 合电压和制作成本低、操作简单、以及微型化等优势。此外，本文提出了一种自动 化细胞电融合芯片实验室的设计思路，并进行了实验，为细胞电融合的高效、自动 以及智能化发展奠定了基础。 关键词：细胞电融合 微电极 细胞操控系统 焦耳热 细胞进样芯片 PAGE III万方数据 PAGE III 万方数据 Abstra