基于表面等离子体的倏逝波操控方法研究-通信与信息系统专业论文.docxVIP

研究生优秀毕业论文 西南交通大学 西南交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授 权西南交通大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，可以采用影印、 缩印或扫描等复印手段保存和汇编本学位论文。 本学位论文属于 1．保密口，在 年解密后使用本授权书； 2．不保密∥适用本授权书。 (请在以上方框内打“、／”) 学 位 敝文 睹者 型轹 礼 指导教师签名：蝴彭．工／1 召 期 巾m 降．年 了汨 茸期 日期：矽烨P月阋 万方数据 西南交通大学学位论文创新性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下独立进行研究工作所取 西南交通大学学位论文创新性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下独立进行研究工作所取 得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其它个人或集体已经发 表或撰写的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均己在文中作了明确的 说明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 本学位论文的主要创新点如下： 1) 基于亚波长周期狭缝和光栅结构操控表面倏逝波实现超衍射聚焦的原理，设计了 具有金属．介质一金属波导结构的光栅聚焦器件，引入多层膜共振腔效应提高聚焦性 能，经过分析得到超衍射聚焦性能随材料参数、周期个数和膜层厚度等结构参数 的变化规律，显著提升了最终聚焦焦点能量。 2) 研究了多层金属．介质纳米膜结构中倏逝波的传输和滤波特性，提出莫尔条纹进行 远场实验验证。在多层金属．介质膜结构两侧分别设计特定周期的亚波长光栅，实 验中在远场观测到微米量级周期的干涉莫尔条纹，验证了多层膜中倏逝波的传输 和滤波特性。并进一步根据莫尔条纹周期和对比度随入射角度的变化，得到了多 层膜倏逝波滤波的带宽和滤波窗口不均匀等特性。 3) 揭示了纳米膜层的表面粗糙度和材料损耗对倏逝波超衍射成像的影响规律。提出 适当引入损耗可以在保证原有图形质量的基础上，抑制粗糙度带来的负面影响。 并实验研究了制备过程中不同纳米膜层的表面粗糙度分布情况，探索后续加工工 艺对原有膜层表面形貌的影响。结果表明在光刻胶层之上加工制作纳米膜层会影 响原有的光刻胶表面形貌，增加表面粗糙度。 学位论文作者签名：薪-掼沁 日期：卅‘f，年勺月矽日 万方数据 西南交通大学博士研究生学位论文 西南交通大学博士研究生学位论文 第1页 摘 要 随着微细加工与集成光电子技术等学科的发展与完善，表面等离子体光学引起了 研究人员的极大兴趣。表面等离子体由于具有波长短和倏逝波耦合放大等性质，可以 用于传输和操控原局域在物体表面的高频倏逝波，因而在超分辩成像、高密度存储和 光伏太阳能等各个领域拥有重要的研究及广阔应用前景。本文基于表面等离子体亚波 长结构，系统研究了倏逝波操控的物理机理、数理模型和光电性能等，并开展了元件 制备和实验验证，主要包括以下几个方面： 首先研究了亚波长狭缝和光栅结构的超衍射聚焦原理。狭缝结构的聚焦性能主要 由表面等离子体波在狭缝波导内的等效传播常数决定，而光栅结构的聚焦性能由其出 射面的电磁场分布以及向自由空间耦合条件共同决定。在此基础上设计了一种金属．介 质一金属波导结构的光栅聚焦结构，引入多层膜中共振腔效应提高聚焦性能。优化得到 的聚焦焦点能量相对于单层光栅聚焦结构提高了21倍，并进一步分析多层膜波导中引 入的额外传输损耗的对最终聚焦性能的影响。 然后基于超棱镜(Superlens)结构研究了表面等离子体对倏逝波的耦合传输能力。从 倏逝波角度分析衍射极限的物理含义，由于携带物体微纳表面信息的高频倏逝波被局 域在物体表面，即使在无像差和无限大光阑的完美成像系统中也无法实现超衍射成像。 表面等离子体由于其短波长色散特性，可以耦合放大表面倏逝波突破衍射极限。在此 基础上进一步研究金属．介质交替的多层膜结构(Alternately Stacked Metal—Dielectric Layers，ASMDLs)，利用等效介质理论(Effective Material Theory,EMT)研究多层膜结构 的等效材料参数，设计参数实现双曲的色散关系，满足倏逝波在多层膜结构中的传输 条件。然后利用严格耦合波理论(Rigors Coupled Waves Analysis，RCWA)计算多层膜结 构的光学传递函数，研究其倏逝波滤波特性，并在实验上设计莫尔条纹进行验证。在8 对Ag(20nm)．Si02(30nm)多层膜结构两侧分别设计400nto激发光栅和200nm检测光栅， 激发光栅产生高级次衍射波经过多层膜滤波后与检测光栅差频，得到实验中易于观测 的长周期莫尔条纹，实验测得莫尔条纹周