基于丢失物缺陷的开路关键面积减小方法研究-电子与通信工程专业论文.docxVIP

摘要 摘要 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘要 集成电路发展规模的不断扩大以及各个元器件尺寸的不断缩小，使得如何保 持和改进集成电路的制造成品率成为优化集成电路设计、改进生产工艺的热门问 题。成品率设计已经成为解决集成电路的可制造性问题和成品率问题的关键方法， 因此为了降低由丢失物缺陷引起的成品率损失，减少由丢失物缺陷产生的开路关 键面积和选取版图优化过程中待优化的线网成为一个重要课题。 本文提出了基于产生开路关键面积区域的开路优化算法和并将该算法与开路 灵敏度模型相结合共同实现版图线网的开路优化。全文首先分析了集成电路制造 工艺过程中出现的随机缺陷的类型以及数学形态学的基本算法，然后对随机缺陷 产生的关键面积区域进行特征表述并提出开路优化算法，最后对现有的开路灵敏 度模型进行研究，对比现有的开路灵敏度模型在开路优化过程中的影响，并将灵 敏度模型与开路优化算法相结合来实现集成电路的版图优化。 通过减小开路关键面积来实现版图优化是实现集成电路成品率提高的一种非 常有效的途径。本文提出的开路优化算法是建立在开路关键面积提取算法上，提 取开路关键面积区域所在的线网区域，对该区域进行开路线网的优化从而实现开 路关键面积的减小，同时本文对比现有的灵敏度模型来选取最合适的模型与开路 优化算法结合来实现版图线网的开路优化。 关键字：成品率 缺陷 版图优化 关键面积 灵敏度模型 Abst