基于光栅莫尔条纹细分技术的精密测量系统的设计-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index：TN29 Dissertation for the Master Degree in Engineering The Design of Precision Measurement System Based on Grating Moire Fringe Subdivision Technology Candidate： Gao Haixia Supervisor： Liu Bo Academic Degree Applied for： Master of Engineering Specialty： Optical Engineering Date of Oral Examination： March, 2016 University： Harbin University of Science and Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文《基于幅值采样技术的光栅 信号细分的研究》，是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期 间独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不 包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集 体，均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书 《基于幅值采样技术的光栅信号细分的研究》系本人在哈尔滨理工大学 攻读硕士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归 哈尔滨理工大学所有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人 完全了解哈尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并 向有关部门提交论文和电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨 理工大学可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全 部或部分内容。 本学位论文属于 保密 ，在 年解密后适用授权书。 不保密 (请在以上相应方框内打√) 作者签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 基于光栅莫尔条纹细分技术的精密测量系统的设计 摘 要 光栅莫尔条纹细分技术在的精密测量领域中应用十分广泛，其中幅值分割 电子细分技术以其电路简单，成本低等优点成为了较为常用的细分技术。然而， 在幅值分割电子细分技术过程中需要解决莫尔条纹信号非线性的问题。较莫尔 条纹直接细分，传统的正切法虽在一定程度上减小了非线性误差，但仍不能达 到更精密测量的要求。针对这一问题，本文采用了 A/D 采样重构法来减少非线 性误差，以便实现最终精密测量的目的。 首先在本文中，借用 MATLAB 软件分析了传统正切法与新方法的非线性误 差，得出本文采用的 A/D 采样重构方法对减少非线性误差具有一定的优势。然 后将本方法应用于实践，进行莫尔条纹的精密测量系统的设计。 根据光栅输出莫尔条纹的实际情况，进行了系统的总体设计。通过设计了 前端处理电路，滤除原始信号的噪声和干扰。同时，为实现系统在高速测量的 条件下完成精密测量，在信号细分方案设计上，采用粗细分、精细分并行处理 的方式。另外，在软件设计方面，优化了细分算法，减少处理器处理时间，使 系统总体性能得到进一步提高。 最后，通过激光干涉仪对本系统进行检验校准，并运用极差法对实验数据 进行重复性误差分析。同时，在系统示值误差、分辨力等几个方面对系统进一 步误差分析，最终确定本细分系统为合格的精密测量系统。 关键词 莫尔条纹信号；幅值分割电子细分技术；非线性 I - The Design of Precision Measurement System Based on Grating Moire Fringe Subdivision Technology Abstract Grating moire fringe subdivision technology is widely applied in the field of precision measurement. The amplitude division electronic subdivision technology with its circuit is simple, low cost advantages became more commonly used subdivision technology. However, the problem of nonlinear moire fringe signal in the process of amplitude division electroni