用于气体传感的电容式微机械超声阵列设计-压电与声光.PDF

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ４０ ６ Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．６ 　 　 　 　 年 月 ２０１８ １２ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｄｅｃ．２０１８ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１８０６０８９６０５ 　　 用于气体传感的电容式微机械超声阵列设计 １ ２ １ １ ２ 卓文军 ，吴丽翔 ，陈 曦 ，王俊力 ，王高峰 　 （ 武汉大学 计算机学院，湖北 武汉 ； 杭州电子科技大学 电子信息学院，浙江 杭州 ） １． ４３００７２２． ３１００１８ 摘 要：电容式微机械超声阵列（ ）是微机电系统（ ）气体传感器的常用结构之一。为了在尽可能 ＣＭＵＴ ＭＥＭＳ 　　 　 降低功耗的前提下，提高气体传感器的灵敏度，对电容式微机械超声阵列尺寸进行优化。首先基于一阶集总电机 械振动模型进行理论分析，发现其灵敏度与塌陷电压成正相关，并主要受振膜厚度、电极间距和电极半径影响，以 此为依据设计符合要求的参数。然后使用 ＣＯＭＳＯＬ多物理场仿真软件，综合结构特点、空气阻尼、外接电路、弹性 软化等因素的影响，提出一种更接近实际的有限元模型。将理论分析结果代入，对尺寸参数进行进一步优化，得到 塌陷电压 ，灵敏度 １７ ／ ，共振频率 ，品质因数 的电容式微机械超声阵列。 １１．３Ｖ －３．２５３×１０ Ｈｚｋｇ ４．８５８ＭＨｚ １２１．４５ 关键词：电容式微机械超声阵列；灵敏度；共振频率；塌陷电压；有限元分析 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＭ２３Ｏ３２１ Ａ 犇犗犐１０．１１９７７ ．ｉｓｓｎ．１００４２４７４．２０１８．０６．０２２ 　　　 　　　 ｊ 犇犲狊犻狀狅犳犆犪犪犮犻狋犻狏犲犕犻犮狉狅犿犪犮犺犻狀犲犱犝犾狋狉犪狊狅狀犻犮犜狉犪狀狊犱狌犮犲狉犃狉狉犪 犳狅狉犌犪狊犛犲狀狊犻狀 犵 狆 狔 犵 １ ２ １ １ ２ ， ， ， ， 犣犎犝犗犠犲狀狌狀 犠犝犔犻狓犻犪狀 犆犎犈犖犡犻犠犃犖犌犑狌狀犾犻犠犃犖犌犌犪狅犳犲狀 犼 犵 犵 （ ， ， ， ； ， １．Ｃｏｍ ｕｔｅｒＳｃｈｏｏｌＷｕｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｗｕｈａｎ４３００７２Ｃｈｉｎａ２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ｐ ｙ