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第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
26 10 Vol.26 No.10
年 月 ,
2014 10 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct. 2014
用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究*
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12 1 2 1 1 2 1
公发全 , 文 静 , 谭彦楠 , 牟宗信 , 周徐洋 , 刘万发 , 董 闯
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1.大连理工大学 材料科学与工程学院 辽宁 大连 116023
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2.中国科学院 大连化学物理研究所 中国科学院 化学激光重点实验室 辽宁 大连 116023
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摘 要 为解决大口径非晶金属第一镜实现难题 在研究块体金属玻璃 材料基础上
Co B Si Ta
61.2 26.2 7.8 4.8
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采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材 通过非平衡磁控溅射镀膜方法 实现了Co B Si Ta 非晶
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金属薄膜第一镜 研究结果表明 通过成分设计及合成靶材的设计 能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特
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性的非晶薄膜第一镜 通过 成分改进 能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率
Cr
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关键词 第一镜 金属玻璃 薄膜表面 光谱反射率
中图分类号: 文献标志码: : /
O756 A doi10.11884HPLPB201426.104002
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第一镜是国际热核聚变实验堆计划 ITER光学诊断系统的重要组成部分 由于其直接面对等离子体 受
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到高能粒子的辐照和沉积污染 工作寿命一般仅有几
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