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第 卷第 期
33 3 东南大学学报(自然科 学版 ) Vol33No3
年 月
2003 5 ( ) May2003
JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY NaturalScienceEdition
超薄氩膜热传导的分子动力学模拟
,
1 12 1
杨决宽 陈云飞 颜景平
1
(东南大学机械工程系,南京 210096)
2
(东南大学MEMS教育部重点实验室,南京 210096)
摘要:采用基于经典理论的平衡态分子动力学( )方法,在无量子化修正的条件下,计算了固
EMD
态氩( )在低于其 温度( )下的导热系数 温度在 以上时,模拟结果和实验值吻合
Ar Debye 92K . 20K
较好,说明固态 的量子化效应对其热传导性能影响不大,温度低于 时,由于模拟区域对
Ar 20K
长波声子的裁剪作用使得模拟结果比实验值低 在此基础上,使用经典分子动力学基于三向、两
.
向周期性边界条件的各向异性非平衡态薄膜模型,模拟了超薄 膜在 的导热系数,种模
Ar 40K 2
型给出了具有相同变化趋势的薄膜热传导特性曲线,即:随着膜厚的增加,导热系数增大,且模拟
结果同模拟区域横截面大小无关 在相同条件下,种模型得到的氩膜导热系数相差 左右
. 2 10% .
关键词:导热系数;分子动力学;微尺度热传导;薄膜
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TK124 A 1001-0505200303030304
Moleculardynamicssimulationofthermalconductivityofargonthinfilm
,
1 12 1
YangJuekuan ChenYunfei YanJingping
1
( , , , )
DepartmentofMechanicalEngineeringSou
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