基于化学腐蚀方法制作的干涉型光纤传感器-通信与信息系统专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 随着光纤的出现和光纤通信的发展，光纤传感技术逐渐形成为一门新兴技术。 其工作原理可简述为以光作为载体，以光纤作为传输介质，对被测参量实现传感。 相比于传统的电学传感器，光纤传感器有以下几个显著的特点：灵敏度高；抗电 磁干扰能力强，也不产生电磁干扰；安全性高，可用于较危险场合；集传感和传 输为一体；能够用于传感器的复用和分布式测量等。光纤传感器这些独特的优点 弥补了传统传感器在应用中的不足，推动了传感技术和测量技术的蓬勃发展。 本文将主要讨论采用化学腐蚀方法来制作干涉型光纤传感器，并简单介绍基 于模间干涉的干涉型光纤传感器。制作的传感器如下： 1、基于腐蚀渐变折射率多模光纤的双光束干涉光纤法珀传感器。传感器腔长 约为 17.5 μm，在空气中反射光谱的最大条纹对比度为 22 dB。应变实验表明，室 温下，在 0~845 με 的范围内，灵敏度为 7.82 pm/με，线性度高达 0.99982。该传 感 器 的机械 强 度较高 ， 最大可 承 受约 3760 με 的 应 变。温 度 实验表 明 ， 在 10 °C~90 °C 的范围内，灵敏度为-5.01 pm/°C，线性度为 0.99809。 0 02、基于腐蚀渐变折射率多模光纤的三光束干涉光纤法珀传感器。传感器的渐 变折射率多模光纤长度约为 505 μm。在去离子水中反射光谱的最大条纹对比度为 18.21 dB。折射率实验表明，在 1.3329~1.4459 折射率范围内的溶液中，反射光谱 的最大条纹对比度与折射率可用二次函数拟合：V ??277.46n2 ?899.46n ??724.48 0 0 系数高达 0.99942，灵敏度??为????554.92n0 ?899.46 dB/RIU，在去离子水中可获得 的最大灵敏度为-159.8 dB/RIU。温度实验表明，在 22 °C~80 °C 的温度范围内， 传感器对温度变化的响应灵敏度为 10.4 pm/°C，反射光谱中波峰和波谷对应的线 性度分别为 0.99936 和 0.99951。 3、基于阶跃折射率多模光纤的 SMS 型多模干涉光纤传感器。传感器的阶跃 折射率多模光纤长度约为 36.5 mm。由于模间干涉效应，SMS 光纤结构的透射光 谱中会出现若干个干涉峰。SMS 光纤结构弯曲时，波谷所对应的波长漂移与光强 变化是独立的，并且每个波谷的变化情况也不一样。在波长与曲率、光强与曲率 的关系图中，最大灵敏度分别为-10.38 nm/m-1 与-130.37 dB/m-1。通过恰当地选择 波长漂移测量和光强变化测量，我们可以实现大范围、高灵敏度的曲率测量。 I 摘 要 关键词：干涉型光纤传感器，化学腐蚀，渐变折射率多模光纤，多模干涉，阶跃 折射率多模光纤 II Abstract Abstract With the invention of a low-loss optical fiber and the development of optical fiber communication, optical fiber sensor technology gradually formed as an emerging technology. Its working principle could be summarized as light as a carrier, optical fiber as a transmission medium, to achieve sensing of the measured parameters. Compared with conventional electrical sensors, the characteristics of optical fiber sensor