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31 , 5 153
Vol. 31, N o. 5 MICROELECTRONICTECHNOLO Y 2003 10
王艳华, 马海阳, 孙道恒
( 2000 , 361005)
: 本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用硅尖的制备方法可 现代IC 工艺兼容
且易削尖, 故比其它材料微尖更实用硅尖的应用随着制备工艺的改进 其它相关技术的进步必
将得到新的开发
: 硅尖; 刻蚀; 微加工技术
+
: T N 3041 2 : A : 1008- 0 147( 2003) 05- 60- 05
Fabrication of Silicon Tip and itsApplication
WAN G Y an- hua, MA Ha - yang, SU N Dao- heng
( Dep t . of Elect ro- mechanics , X i amen Univ ers ity , X iamen Fuj i an, 361005, Ch ina)
Abstract: T he fabr cat on of s l con t p and t s appl cat on n d f ferent f elds are ntroduced n t he art
cle. T he met hod t o fabr cat e s l con t p s compat ble w t h modern IC t echnolog y; n add t on , the s l
con t p may be easy to sharp, so t hat t s more pract cal than ot her m at er als. It s bel eved t hat t he
appl cat on of s l con t p w ll be newly developed w th the mprovement of fabr cat on technology and
ot her correlat ve technolog es.
Keywords: S l con t p; Et ch ; M cro- process ng
[ 1]
1
,
,
[ 2]
,
AF M , ,
, ,
H RL
, , , ,
:
5 , , : 6 1
, Marcus
, 1nm
[ 4]
,
( ) , 22
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