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吸附真空泵在微波管中的应用 1微波管工作需要高真空环境：微波管是一种放大微波信号的电真空 器件，主要包含电子枪、慢波系统、聚束系统、输能装置和收集极这 五个基本功能部件。 电子枪的功能是由阴极产生电子束，然后利用聚焦极、阳极把 电了束会聚、加速，形成一定截面形状、尺寸和能量的电子注。 慢波系统是用来减慢电磁波沿管子传播速度的装置，使电子注 和高频电磁场的相互作用，把电子束的能量转换为的高频微波能量， 使微波管能完成信号放大作用。 聚束系统利用磁场约束电子注的发散，使其顺利穿过慢波系 统。输能装置是被放大微波信号的入口和出口。 收集极用来收集穿越慢波系统完成能量交换作用后的电子注 电流。 可见，微波管利用电场、磁场来控制电子束在其内部运动，使 电子束产生、加速、运动、收集以及和信号相互作用，以至达到信号 放大的目的。因此，避免电子对气体分子间的碰撞，呆证电子在微波 管内部的运动规律，方止发射热电子的阴极氧化中毒，把微波管抽到 一定真空度保证微波管的正常工作，是绝对必要的。微波管的整个寿 命期间要求维持高真空或超高真空状态。真空度的好环直接影响到微 波管的可靠性能。 2高真空环境的获得和维持微波管内的真空度的获得，主要通 过排气工艺把管内气体抽出，从而获得一定的真空度。由于微波管结 构复杂，零件繁多，一般都是100种以上；真空气密性焊缝多，一般 有几十道焊缝。所以在排气时需要加热到高温对金属零件和焊接处进 行出气处理。这样在微波管工作状态下，内部零件温度会身高，就不 会出气了，这样在工作状态下仍然会保证高的真空度。 常用的排气系统为油扩散泵排气系统和涡轮分子泵排气系统， 主要组成为前级泵（机械泵、罗茨泵等）粗抽，然后利用主泵（油扩 散泵、分子泵等），配置必要的真空管道、一定高真空阀门、所需的 真空计（电阻真空计、电离真空计、B?A真空计等）把真空度抽至高 真空。当利用油扩散泵时，还需要加一挡油阱，防止泵油对真空器件 内部系统的污染。 排气结束后，真空度能达到106Pa,可以满足微波管的使用要 求。为了提高微波管排气时的真空度，减少在后工序的放气量，我们 利用獺射离子泵对微波管的排气，排气结束后真空度可以达到 2xlO-7Pa.排气结束后，微波管和排气系统进行冷封离，在封离过程中 机械挤压使金属零件放气，同时微波管在放置一段时间后，由于其本 身的高真空，内部材料会进行放气，从而降低了管内的真空度。这时 我们利用了一种小离子泵（俗称钛泵）保证内部的真空度，同时在微 波管老炼、测试等工序中，管内零件经过高速电子束的轰击会产生放 气，需要钛泵进行抽除。钛泵的电流还具有检测微波管内部真空度的 作用。 在微波管老炼、测试结束后，这时管内的真空度一般都会保持 稳定。由于钛泵本身体积比较大，影响微波管的外形尺寸，一般我们 会进行去除（对外形无要求的可以不去除）。 但是微波管等电真空器件一般需要一定长寿命，一般指标要求 为3年（空间微波管要求20年）。在这长时间的工作中，零件材料本 身的缺陷（气孔、裂纹等）和焊接的死空间可能产生慢性漏气或者放 气，破坏内部的真空度，我们在这里放水机配套的软水硬度测试剂， 以及国内一些软水器厂家配制的硬度测试剂。它们的一个共同特点 是：只具有指示剂的作用。即只能定性的指示出其水样的硬度是否在 某一指定值（如0.03mmol/L）范围内。笔者对几种指示剂作过测试, 其误差比较大，其中有一种误差达300%. 4使用KS软水硬度测试剂 具有以优点：测试速度快、效率高，只需几秒钟就可测定一个水样。 操作方法简单、设备简单、携带方便。没有化学基础的人也只 需要几分钟就能学会、应用。 费用低，测定一次药品费不足一角钱。 因此KS软水硬度指示剂具有非常好的推广价值。 新视野科研二号真空系统在同样的排气工艺下，我们统计了 5 根微波管的排气后的真空度的数据。 置吸气剂。吸收管内残余气体及管内零件重新释放岀来的气 体，维持管内的真空度。 3吸附真空泵的原理可见，在微波管的制造中，我们使用到獅 射离子泵、钛泵和吸气剂等吸附真空泵。他们具体的工作原理如下。 懈射离子泵和钛泵：在两片阴极板之间安装了蜂窝状阳极，在 与阴极板垂直但平行于蜂窝轴的方向加磁场，电子在磁力线中呈螺旋 运动并与气体分子产生电离。在电离过程中产生的电子还会继续与其 他气体分子进行分离。在电离期间，电子交出能量并逐步到达阳极， 同时正离子被加速，到达由钛制成的负电极。离子和钛金属互相作用, 有三种抽气方式：①离子獺射除出钛阴极材料，起到沉积消气膜的作 用，吸附反应气体（氮、氢和氧）；②某些离子的能量会大到足以使 其埋到电极中，从而以离子注入的方式被吸收，对包括稀有气体和惰 性气体在内的所有离子均有效。③从阴极懈射出的钛能埋没靶电极上 的气体原子，提高对惰性气体的抽速。大