压电陶瓷微位移驱动器输出特性的研究.pdfVIP

第一章绪论 1．1论文的背景和意义 随着二十一世纪的前沿科技一纳米技术(Nanotechnology)的兴起和发展， 人类已经在认识和改造自然方面开创了一个前所未有的新局面。它给信息技术、 先进制造技术、医学和健康、环境、能源、航空航天、国防和人民生活等许多 领域带来了重大变革。精密定位技术作为其关键技术之一，也是现代制造技术 的重要组成部分，用于实现微位移定位，具有行程小、定位精度高(亚微米甚至 纳米级)、易满足不同场合需要等特点。精密定位技术的发展关系到精密机械电 子与精密仪器、超精密测控系统的性能，影响到精密工程等高精度产业的发展， 也直接影响着各学科纳米科学与技术的发剧n，因此精密定位技术己成为许多 现代工业领域和前沿科学技术研究的共同基础。 压电陶瓷微位移驱动器是近年来发展起来的新型微位移驱动元件，其克服 了以往机械式、液压式、气动式、电磁式等驱动器惯性大、响应慢、结构复杂、 可靠性差等不足，具有位移分辨率高、响应快、不发热、无噪声、刚度大、可 微小化等优点，从而被广泛应用于精密定位技术中，如现代工业对加工精度提 出更高的要求，其加工精度指标已经达到微纳米级的要求，这就需要具有微纳 米级的驱动装置进行加工驱动，图1．1即为压电驱动超精密加工实例。用于电 化学加工、微刻蚀与微雕刻；用于微机电系统(MEMS)的加工、封装及装配； 在大规模集成电路制造中，构成x射线漏光机等设备中的超精密微定位装置及 高精度微进给装置(如图卜2)；在扫描探针显微镜中，用于测量样品表面形貌、 进行纳米加工(如图1-3)；在光纤对接方面，用于光纤之间的精密对准(如图 10)，可大大提高信号传输效率和能力；在现代细胞生物工程方面，用于完成 对细胞的显微操作，实现生物操作工程化(如图I-5)；在医疗科学方面，用于显 微外科手术，以便减轻医生负担，缩短手术时间，提高成功率阳】。同时，在数 据存储、精密光学对准、微型精密装配、航天器姿态精密控制和雷达跟踪微角 度精密调整等领域也有着广泛应用。随着精密加工技术、光电子技术、生物技 术、磁盘技术等高科技的飞速发展，对压电精密驱动器的数量需求和技术要求 会越来越高。 但是，由于压电陶瓷微位移驱动器同时也存在着明显的不足—在电场的作 用下将产生迟滞非线性，影响了定位的精度。近年来，人们对压电陶瓷微位移 驱动器的控制方法进行了广泛的研究来减少迟滞非线性，取得了一些成果。但 这些应用大多是采用闭环控制方法实现的，而闭环控制是基于检测装置的反馈 信号进行控制的，这将使得系统交得复杂，同时成本也会相应提高，当参数选 择不一当时还会出现不稳定现象。如何解决在开环控制情况下减少压电陶瓷微 位移驱动器所固有的迟滞、蠕变特性带来的迟滞非线性误差是一个有着重大意 义和实用价值的科研课题，已成为微驱动领域内众多科技工作者所关心的研究 热点和焦点之一． 为减小压电陶瓷微位移驱动器的迟滞非线性，在精密定位技术中更好地发 挥其性能，需要揭示迟滞非线性的物理本质，研究其特性，建立有效的模型来 消除迟滞非线性的不利影响。本文正是在上述背景下提出的，并且同时着重研 究了基于载荷的特性和建立模型． 可以说，开展精密定位技术的研究有利于跟踪国际先进纳米技术的发展动 态，缩小我们与发达国家同行业的技术差距，促进我国精密仪器仪表和精密、 超精密加工水平的提高，有利于推动我国大规模集成电路制造技术的发展，促 进我国纳米技术方面的研究，更具现实的意义。 压电精密驱动刀架微型车床 压电精密驱动控制的桌面工厂 图1．1超精密加工技术 图1-2x射线漏光装置图 图1-3扫瞄隧道显微镜原理 图1-4光纤对接原理图 图I-5细胞显微操作系统 2 1．2压电陶瓷微位移驱动器迟滞非线性模型的国内外研究现状 近年来，压电陶瓷微位移驱动器迟滞非线性模型在控制中的重要作用已经 引起国内外广泛的重视，许多科研机构展开了相关的研究，提出了许多解决方 法。目前国内外研究主要集中在以下几个方面： 1．压电陶瓷微位移驱动器迟滞非线性成因的研究： 哈尔滨工业大学张涛、孙立宁等【41，基于力电等效的原则与剩余极化的观 点，分析了压