用于高分辨率加速度计的PGC纳米位移传感器.pdf

第1章绪论 辆的惯性制导，且在军事方面和未来智能车辆方面也有极其重要的应用。 利用MEMS技术设计的加速度传感器是加速度传感器中的重要成员，但是 此类加速度传感器的原理大多数是通过电容的变化来感知加速度传感器的位移， 由于电容的变化量正比于位移的平方，分辨率有限，要获得高分辨率，例如10“， 系统的尺寸就需适当展宽，所以用此类技术无法设计高分辨率的高集成化加速度 传感器；而利用隧道效应设计的加速度传感器，与位移成指数关系。隧道效应型 加速度传癌器的这种指数型关系可以允许在较小的结构上实现较高的分辨率．可 以达到l旷。但由于现在制备隧尖的方法基本采用化学腐蚀的方法，制作过程复 杂且难控制，要获得更高分辨率比较困难。 而新兴的光纤型加速度传感器，由于其具有抗电磁干扰能力好，体积小、质 量轻、动态范围宽，及能在恶劣环境下工作等优点，已经成为国内外研究的重点。 光纤传感器开始于1977年美国海军研究所执行的光纤传感器系统计划．经 过20多年来的发展与完善，光纤传感器技术已日趋成熟，并被广泛地用于军事、 科研，工业和商业等领域。其中，光纤加速度传感器也得到了迅速的发展。早在 数年前，英国科学家A．D．Kersvy和D．A．Jakson已成功研制了一种高灵敏度光纤 设计的倾斜镜式加速度传感器，最小可探测加速度也可达2．4x10’69Esl。在国内， 也已有企业生产制造光纤加速度传盛器，灵敏度可达long量级。现在国际上也 已有利用光纤干涉原理制成的测距系统，可测量范围可从l旷到l旷‘2m量级， 而且技术已经非常成熟，已经有商业产品刚”。这为设计制造高分辨率的加速度 传感器提供了技术保障。 t．3加速度传感器中的位移传感器 尽管加速度传感器具有很多种类，但是从原理上来说，绝大部分产品都是通 过测量位移(角位移或者线位移)来间接的测得加速度的。所以位移传感器是加 速度传感器中的核心器件，研究位移传感器对加速度传感器具有重要意义。表 1．1中列出了常用的高分辨率加速度传感器原理。 d 第1章绪论 表1，1常用高分辨率加速度传感器原理汇总衰 类型 可变电容型 隧道效应型 石英振梁型 光纤干涉型 被测加速度被敏 被测加速度被敏感 被测加速度被敏 被测加速度被敏 感质量所感知， 质量所感知．以力 感庙量所感知． 感质量所感知，带 带动电容町动电 的形式施加在石英 带动一反射面或 动一隧道电极产 实现原理 板产生相应位 振粱上，进而gI起 者光纤产生相应 生相应的位移，从 移。然后转化为 了石英振粱的固有 位移，从而改变 而改变了隧道电 易测量的电容的 频率的变化(易测 了相干光的相位 流值(易测量) 变化量 量) 差(易测量) 加速度一位移一 加速度一位移一 加速度一力(形变)加速度一位移一 电容 隧道电流 一频率 相位差 1．4本论文主要研究内容 G％erated 本课题旨在研究一种用于高分辨率加速度计的相位载波(Phase Carrier P