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固 矛 火 飞 ,
休 润 丹 几丁 收 稿 日期
溅射 膜在真 空用滚珠轴
承上 的应用研 究
徐 锦 芬 未 昌铭 胡 伟 芳 刘 洪 王 秀娥
中国科 学 院兰 州化 学物 理研 究所
【 】 用 改 了的 频 溅 在 轴 上 膜 , 选
摘 要 作 者 采 装 射 射 设 备 滚珠 承 溅射 并 择
。
了合 适 的工 艺参数 用 一 射 线 衍射 仪 和 俄 歇 能谱仪研 究 了溅 射 膜 的 结 构 和
,
与底 材 间 的界 面 评 定 了溅射 , 的杭 摩性 能并测 定 了溅 射 膜 润 滑 的滚珠
轴 承 的 摩擦 力拒 和耐 久 寿 命。
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