毕业论文--还原炉硅棒温度智能控制系统.docx

湖南大学毕业设计(论文) 第 Ⅰ 页 HUNAN 毕业设计(论文) 设计论文题目： 还原炉硅棒温度 智能控制系统 学生姓名： 学生学号： 专业班级： 自 学院名称： 电气与信息工程学院 指导老师： 学院院长： 2015年5月25日 湖南大学毕业设计(论文) 第 Ⅱ 页 湖南大学毕业设计(论文) 第 Ⅰ 页 摘要 由于多晶硅生产目前对于光伏产业的发展具有非常重要的意义，因而在多晶硅生产中对于还原炉硅棒的表面温度控制就显得十分重要。一般工业生产中既要保持硅棒表面的最佳反应温度，又要控制温度稳定。温度控制的关键在于温度测量和温度控制，前者是温度控制的基础，其相关技术比较成熟，而后者则涉及参数大时变、纯滞后大惯性等特点，加热材料、环境温度及电流电压控制都会影响控制效果，因此是一个十分值得深入研究的课题。 针对于多晶硅工业生产中的气相沉积反应特性，工业界一般采用开环方式控制硅棒温度，面对工程应用对控制方法的要求不断提高，基于传统控制理论和方法的局限性，本文针对该过程提出了无模型自适应模糊控制器作为主控制器，PI为副控制器的控制方法。这种控制方法对模型的要求低，具有自适应、克服大滞后过程的特点，运用模糊规则在线修正无模型自适应控制器参数，使生产过程温度控制既能保持收敛稳定，又能提高系统的动态性能。 本课题首先对多晶硅生产的化学反应过程及其原理进行了阐述，根据硅棒的气相沉积反应特性，确定系统参数大时变特点，无模型自适应控制器作为双闭环控制系统的主控器，而仿真表明仅此能够保证系统的稳定性和收敛性，但并不能满足系统的动态性能要求，所以要采用模糊自适应方法。根据无模型自适应控制器的参数学习因子及步长序列对动态性能的影响，利用误差及其变化率整定上述两个参数。同时本文还介绍了电流、电压及温度采样的元件及PLC选型，并利用step7软件对以S7-300为核心的硬件系统进行了硬件组态。 关键词：温度控制，无模型自适应，模糊控制。 Silicon reduction furnace temperature intelligent control system Abstract Because polysilicon production at present has very important meaning for the development of photovoltaic industry, and thus for reduction furnace in polysilicon production silicon rod surface temperature control becomes very important.Both in the general industrial production to maintain optimum reaction temperature on the surface of the silicon rods, and to control the temperature stability.Temperature control is the key to temperature measurement and temperature control, the former is the basis of the temperature control and its related technologies mature, while the latter involves large time-varying parameters, pure lag characteristics of big inertia, heating material, environment temperature and current voltage control will affect the control effect, so it is a very worth studying further. For polysilicon vapor deposition reaction characteristics of industrial production, the industry generally adopts open-loop mode control silicon rod temperature, in the face of th