第五章-光学薄膜系统的设计(二).pptVIP

* 高反射膜的设计 金属反射镜 金属反射膜的常见材料:铝(Al),银(Ag),金(Au),铜(Cu) 分类：金属反射镜、金属-介质反射镜、多层介质高反射镜 紫外到红外都有很高反射率的唯一材料 铝膜表面在空气中能生成一层薄的Al2O3 层，膜层牢固、稳定 铝膜也常用Al2O3作保护层，但是如果铝膜用来作紫外反射镜，则不用Al2O3和SiO作保护层, 而用MgF2或LiF 铝膜 高反射率铝膜在制备工艺上，首先应该选用高纯度的铝，以很高的沉积速率沉积到冷基片（温度低于100oC）上，同时真空度应高于10-4Pa。 另一方面，保护膜的制备工艺也影响反射镜的反射率 覆盖有25nm厚MgF2的铝膜在121.6nm处的反射率随MgF2蒸发速率的变化关系 覆盖有25nm厚MgF2的铝膜在MgF2蒸发速率为0.8nm/s和4.5 nm/s时的反射率 可见和红外区有很高的反射率 倾斜使用时偏振效应最小 与基片的附着力很差 作前表面镀层时，易于受到硫化物影响失去光泽，若用SiOx或MgF2作保护膜，它们与银膜附着也很差。 银膜 改善银膜附着力和保护银膜表面新途径：在衬底上先制备Al2O3缓冲层，在Ag膜表面制备Al2O3+SiOx层 金膜 红外区有很高的反射率，常作红外反射镜 强度与稳定性比银膜好 与玻璃基片的附着力较差，常用金属铬膜作为缓冲层 其他金属反射镜：铑(Rh)，铂(Pt) 反射率远低于其他金属反射镜，只在对腐蚀有特殊要求情况下使用 金属-介质高反膜 采用金属-介质组合膜系作高反射膜的目的： 提高金属膜层的反射率，常用方案是加(LH)S介质膜堆 提高衬底与金属膜之间附着力的缓冲层 保护形式： 金属的复折射率为n-ik，则单层金属膜的反射率为 对金属膜层的保护 在金属膜表面提高硬度的保护层 如果在金属膜上加镀折射率分别为n1和n2的两层?0/4厚介质膜，并且n2材料紧贴金属膜，垂直入射时，波长?0的导纳为 则垂直入射时，其反射率为 改进后铝膜的反射率曲线 在(n1/n2)21情况下，上式得到的反射率比纯金属反射率大，而且n1/n2比值越大，反射率增加越多。如果再镀多个同样周期的介质膜，反射率将会进一步提高。不过这种提高只是部分区域的。 多层介质高反射镜 若干反射镜串置的光学系统总的透射率 激光陀螺仪谐振腔 基片折射率为ng，镀光学厚度为?0/4的高折射率(n1)膜层后，由于膜层上下界面的反射光同位相，所以反射率增加。 n0 n1 ng 对中心波长, 单层膜和基片组合的导纳为 则垂直入射的反射率为： 介质高反射膜的原理 如果nH、nL分别是高低折射率层的折射率，并使介质膜系两边为高折射率层，每层的厚度为?0/4,即 ，对中心波长?0 ，导纳为 在空气中垂直入射时，中心波长?0处的反射率为 nH/nL↑或 s ↑ R↑ 如果 理论上，只要增加膜系的层数，反射率可无限接近100%，但是当膜系的反射率很高时，额外增加膜系的层数，并不能反射率，有时反而下降。 ？ 透明基片(ng=1.52)上由?0/4厚的高(1.8)、低(1.49)折射率材料介质交替堆积而成的中心波长532nm的反射镜的反射率曲线，其周期数分别为5，9，15，25 介质高反射带宽的计算 假设多层膜由s个重复的周期构成，而基本周期由任意所需层数（现以2层为例）的膜组成，基本周期的特征矩阵为M 则多层膜的特征矩阵为： 经过计算，我们发现膜系的透射带和反射带由 确定。 满足条件 的波长，位于反射带内 满足条件 的波长，位于反射带外 所以反射带由 决定，其对应的波长称为截止波长 假设截止波长对应的位相厚度为de， 又 则根据 高反射带边界对应对应位相 高反射带的宽度，仅仅同多层膜的材料折射率有关，折射率比值越大，反射带越宽。 所以，用相对波数g表示的高反射区域为 相应的波长范围为： 高反射膜的波长带宽为： 多层膜的高反射带宽同膜料折射率比值的关系 以上讨论的为主反射带，即各层厚度为反射带中心波长的1/4, 若各层厚度为1/4 波长的奇数倍，则在这一波长上也存在高反射带，如果主反射带中心波长为?0，那么以?0/3, ?0/5, ?0/7等为中心,同样存在着高反射带，各高反射带的波数宽度相同2△g，但是各高反射区的波长宽度是不同的，级次越高，波长宽度越窄。 反射率和相对波数的关系 因而要制备窄带高反膜，除选择折射率比小的两种材料外，还可以选用较高级次的反射带，以3?0, 5?0等作为控制波长 以上没有考虑薄膜材料的色散，实际中各种材料的色散是不一样的，尽管几何厚度相同，但是对不同波长，光学厚度略有不同，因此实际中要作适当修正。 非等厚周期膜系 任意周期